附件32.1

首席执行官和首席财务官的认证

依据《美国法典》第18编第1350条,

根据以下规定通过

2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节

关于本报告日期提交给美国证券交易委员会的截至2021年12月31日止的MKS仪器公司(“本公司”)10-K表格年度报告(下称“报告”),签署人John T.C.Lee,本公司首席执行官总裁,以及本公司首席财务官兼财务主管Seth H.Bagshaw,根据根据2002年萨班斯-奥克斯利法第906节通过的美国法典第18编第1350条,兹证明:

 

 

(1)

该报告完全符合1934年《证券交易法》第13(A)或15(D)节的要求;以及

 

 

(2)

该报告所载资料在各重大方面均公平地反映了本公司的财务状况及经营结果。

 

日期:2022年2月28日

/约翰·T·C·李

约翰·T·C·李

总裁与首席执行官

(首席行政主任)

 

日期:2022年2月28日

/s/赛斯·H·巴格肖

赛斯·H·巴格肖

首席财务官兼财务主管高级副总裁

(首席财务官)