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授權書

所有人通過這些書面文件知曉，下面簽名的每個人均授予羅伯特·C·代格爾和韋德·M·詹克，以及他們每個作爲其真正和合法的代理人和代理，擁有全權進行替代與再替代，代表他本人以及以他的名義、地點和身份，以任何及所有身份簽署Amtech Systems, Inc.的年度報告，根據表格10-K格式，涵蓋截至2024年9月30日的財政年度，以及對該年度報告在表格10-K上的所有修訂，並向證券交易委員會提交相應的文件和所有附屬文件，賦予上述代理和代理人，以及他們每個，充分的權力和權威去執行和完成在此事宜中所需和必要的每一項行爲，正如他本人可能或能夠在此親自執行的一樣，在此全面批准和確認上述代理和代理人，或其替代者可能合法地執行或促成的所有行爲。