附件23.1

獨立註冊公共會計事務所的同意書

我們同意在註冊聲明（編號：333-263875，333-204431，333-196940，333-196937，333-131051，333-145454，333-09911，333-168606，333-168607）中引用。 在S-8表格中引用我們於2024年12月12日的報告，關於Amtech Systems, Inc.及其子公司的合併基本報表，以及對財務報告內部控制的有效性。