EX-21.1 5 asys-ex21_1.htm EX-21.1 EX-21.1

 

展覽21.1

Amtech Systems公司及其子公司

註冊人的子公司

 

姓名

 

註冊所在的司法管轄區

愛文思控股複合材料公司

 

特拉華州

 

 

 

布魯斯科技公司

 

馬薩諸塞州

 

 

 

BTU 歐洲有限公司

 

英國

 

 

 

BTU 國際公司

 

特拉華州

 

 

 

BTU 有限公司(上海)

 

中國

 

 

 

BTU 境外有限公司。

 

特拉華州

 

 

 

BTU 境外(上海)有限公司。

 

中國

 

 

 

Entrepix, Inc.

 

亞利桑那州

 

 

 

Entrepix 亞洲有限公司。

 

新加坡

 

 

 

Entrepix International, Inc.

 

亞利桑那州

 

 

 

Intersurface Dynamics, Inc.

 

康涅狄格州

 

 

 

P.R. Hoffman Machine Products, Inc.

 

亞利桑那州