EX-10.5

這是與僱傭協議的修正案第1號（這個“修正案編號1），由亞利桑那州公司Amtech Systems, Inc.（“公司”）和Robert C. Daigle（“執行官”）簽署，並自2024年2月29日生效（“首次修正案生效日期”).

鑑於，公司與高管於2023年8月14日簽署了一份僱傭協議（該協議可能不時修訂，稱爲“僱傭協議”).

鑑於公司和高管已共同同意通過用爲期5年的外部期權授予替代高管未來獲得RSU授予的權利，並取消高管參與高管獎金計劃的權利，如本修正案第1號所述。

因此，考慮到前提和本修正案第1號中規定的相互契約，各方同意如下：

1. 定義。除非本修正案第1號中另有明確說明，否則本修正案第1號中使用的所有術語，其定義應與《僱傭協議》中賦予它們的含義相同。

2. 對僱傭協議的修正。對《僱傭協議》作出的以下修訂自首次修訂生效日期起生效。

(a) 第2(b)節《僱傭協議》的以下內容在此被刪除並替換爲以下內容：

(b) 第3(e)條《僱傭協議》的以下內容在此被全面修訂和重述爲：

“(e) 2024年期權授予。在董事會批准的情況下，公司將授予高管購買400,000股普通股的期權（“2024年期權授予在首次修訂生效日，2024年期權授予的行使價格將爲每股6.00美元。2024年期權授予將受EIP下授予的股票期權適用的條款和條件以及首席執行官和公司將簽署的適用獎勵協議的約束，該協議應實質上以附在本修正案第1號的形式附上。2024年期權授予的歸屬情況如下： (i) 133,333股將於2024年8月8日歸屬並可行使，(ii) 133,333股將於2025年2月8日歸屬並可行使，(iii) 剩餘的133,334股將於2025年8月8日歸屬並可行使，前提是執行官繼續爲公司提供服務，如適用獎勵協議所述。

4. 適用法律本修正案第1號及其有效性、解釋、執行和執行相關的所有問題，應受亞利桑那州法律的管轄並據此解釋，不論亞利桑那州或其他地區的利益衝突條款有何相悖。與本修正案第1號有關的任何行動應僅在亞利桑那州馬里科帕縣具有管轄權的法院提起，每一方在法律允許的最大範圍內，在此不可撤回地放棄其目前或將來可能對在此類法院提起訴訟的地點提出的任何異議，並服從該等法院的管轄權。各方（通過對此的接受）在此明知、不可撤回、自願並故意放棄各自在本修正案第1號提出的任何爭議中對陪審團審判的權利。

5. 分開執行本修正案第1號可通過任意數量的副本簽署，每一份均應視爲對任何在上面簽名的各方的原件，所有副本應共同構成一份相同的文書。本修正案第1號在一份或多份副本單獨或共同簽署後，即成爲具有約束力。

6. 完整協議除本文所述外，本修正案第1號和僱傭協議共同包含了當事方之間有關本協議標的的全部理解，並取代所有先前和同時期的協議和理解、誘因和條件，無論是明示還是暗示、口頭還是書面，均不再具有任何效力。這裏的明確條款控制並取代任何與此條款不一致的執行過程和/或交易習慣。本修正案第1號不得修改或變更，除非由高管和具有實際權力的公司授權代表簽署的書面協議。

7. 控制文檔如果公司與高管之間的任何協議、計劃、方案、政策、安排或其他書面文件的任何條款與本修正案第1號的任何條款發生衝突，則本修正案第1號的條款應予以控制和優先。

8. 節標題本修正案第1號中的節標題僅爲方便而設；它們不構成本修正案第1號的一部分，也不影響其解釋。

9. 繼承人和受讓人。本修正案第1號應使當事人的繼承人和受讓人受益並對其具有約束力；前提是高管在此的義務涉及個性化服務的履行，故此類義務不得由高管轉讓。就本修正案第1號而言，繼承人和受讓人應包括但不限於通過銷售、合併、整合、清算或其他轉讓形式獲得公司大多數股票或資產的任何個人、公司、信託、合夥企業或其他實體。公司將要求任何繼承人（無論是直接或間接的，通過購買、合併、整合或其他方式）明確承擔並同意執行本修正案第1號。

10. 生存條款。根據本協議各方的各自權利和義務在執行者的僱傭關係終止後仍然有效，包括但不限於公司在本修正案第1條下的義務，以及執行者在僱傭協議第4條下的義務，以及任期的結束，在必要的範圍內保留這些權利和義務。

11. 諮詢律師的權利；無起草方。執行者承認已仔細閱讀並考慮本修正案第1條的所有條款，並有機會諮詢執行者自行選擇的律師，基於此，執行者同意此處創建的義務並不不合理。執行者承認，執行者有機會談判所有這些條款，並且不應採用任何解釋規則來根據哪個方起草本修正案第1條來有利或不利於某一方。

12. 其他. 所有對僱傭協議的引用，無論是在此處還是其他地方，都應指本修正案第1條修訂和修改後的僱傭協議，及其可能進一步修訂、修改、延長、續期、補充及/或不時重述的任何時間。除非本協議中另有明確規定，否則僱傭協議的所有條款和規定（按本修正案第1條修訂和修改）仍然有效，並對各方及其各自的繼承人和允許的受讓人完全具有約束力。

[修改第1號的簽名頁]