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展覽32.2

AXCELIS TECHNOLOGIES,INC。

信安金融主要財務官的資格認證

根據美國法典第18章第63章第1350條的規定

Axcelis Technologies, Inc.的首席財務官,一家特拉華州的公司,在此證明,根據《薩班斯-豪利法案2002》第906條的執行,爲了第18章第63章第1350條的規定

這份第10-Q季度報告完全符合1934年證券交易法(15 U.S.C. 7800萬或78o(d)條)第13條或第15(d)條的要求,並且所載信息基本準確地呈現了公司的財務狀況和經營業績。

在此證明,簽署人於2024年11月7日簽署了本認證書。

JAMES G. COOGAN

James G. Coogan

Axcelis Technologies, Inc.的執行副總裁兼首席財務官。