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展示32.1

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AXCELIS TECHNOLOGIES，INC。

首席執行官的認證

根據《美國法典第18標題第63章第1350條》的規定

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Axcelis Technologies公司首席執行官特此證明，根據《美國法典第18標題第63章第1350條》（由《薩班斯-奧克斯利法案》第906條實施）的目的如下：

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這份Form 10-Q季度報告完全符合1934年證券交易法（15 U.S.C. 7800萬或78o(d)）的第13(a)或15(d)條規定，本報告中包含的信息在所有重大方面均客觀呈現了公司的財務狀況和經營業績。

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特此作證，簽署人於2024年11月7日執行該認證書。

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