附表31.2

認證

信安金融首席財務官

根據《薩班斯-豪利法案》第302條的規定執行規則13a-14(a)/15d-14(a)

我，James G. Coogan，證明：

1. 我已審閱Axcelis Technologies, Inc.的Form 10-Q季度報告;

2. 根據我的知識，本報告不包含任何虛假陳述或遺漏揭示必要的重要事實，以使所述陳述在發表時不誤導，考慮到本報告涵蓋的時期;

3. 根據我的知識，本報告中包含的財務報表和其他財務信息在所有重要方面公平地呈現了註冊者截至本報告中列出的期間的財務狀況、經營成果和現金流;

4. 註冊者的其他認證官員和我負責爲註冊者建立和維護信息披露控制和程序(如《交易所法》第13a-15(e)和15d-15(e)條規定)和財務報告內部控制(如《交易所法》第13a-15(f)和15d-15(f)條規定)並已：

(a) 設計將謝公司重要信息，包括其合併子公司的信息，通過其他人在編制本報告期間內向我們披露的披露控制和程序;

(b) 設計了這樣的內部財務報告控制或在我們的監督下促使這些內部財務報告控制的設計以依據普遍公認會計原則爲外部目的可靠地報告財務情況和編制財務報表，以提供合理的保證；

(d) 本報告中披露了在註冊人最近的財政季度內發生的有關注冊人內部控制的任何變化，該變化已經或者可能會對註冊人的內部財務報告控制產生重大影響；且

5. 我和公司的其他認證主管根據我們對公司最近一次內部控制評估的披露向公司的核數師和董事會審計委員會（或執行相同職能的人員）披露：

(a) 在財務報告內部控制的設計或操作中存在重大缺陷和實質性弱點，這種缺陷和弱點有可能對本註冊人記錄、處理、總結和報告財務信息的能力產生不利影響;並且

(b) 有關本註冊人的管理層或其他員工在試圖影響本註冊人財務報告內部控制方面有重要作用的欺詐問題已在本登記人的最新財務報告內部控制評估中揭示。