附表31.1

認證

首席執行官

根據《薩班斯-奧克斯利法》第302條規定，執行第13a-14(a)/15d-14(a)條規定

我，Russell J. Low，證明：

1. 我已審閱Axcelis Technologies, Inc.的10-Q表格的季度報告；

2. 據我所知，本報告不包含任何不實的重要事實陳述，也未遺漏必要的重要事實以使所作的聲明在作出聲明的情況下對本報告所涵蓋的期間不誤導；

3. 據我所知，本報告中包含的財務報表和其他財務信息在所有重要方面均公允呈現了註冊人的財務狀況、經營業績和現金流，截至本報告所列期間；

4. 註冊人的其他認證主管和我負責爲註冊人建立和維護披露控制和程序（根據《證券交易法》第13a-15(e)和15d-15(e)條規定定義）以及內部財務報告控制（根據《證券交易法》第13a-15(f)和15d-15(f)條規定定義）；

(a) 設計將謝公司重要信息，包括其合併子公司的信息，通過其他人在編制本報告期間內向我們披露的披露控制和程序;

(b) 設計了這樣的內部財務報告控制或在我們的監督下促使這些內部財務報告控制的設計以依據普遍公認會計原則爲外部目的可靠地報告財務情況和編制財務報表，以提供合理的保證；

(d) 本報告中披露了在註冊人最近的財政季度內發生的有關注冊人內部控制的任何變化，該變化已經或者可能會對註冊人的內部財務報告控制產生重大影響；且

5. 其他認證主管和我根據我們對財務報告內部控制的最新評估，向註冊會計師和註冊董事會的審計委員會（或執行相同職能的人）披露了：

(a) 在財務報告內部控制的設計或操作中存在重大缺陷和實質性弱點，這種缺陷和弱點有可能對本註冊人記錄、處理、總結和報告財務信息的能力產生不利影響;並且

(b) 有關本註冊人的管理層或其他員工在試圖影響本註冊人財務報告內部控制方面有重要作用的欺詐問題已在本登記人的最新財務報告內部控制評估中揭示。