證券之星消息,根據天眼查APP數據顯示江豐電子(300666)新獲得一項實用新型專利授權,專利名爲「一種靶材」,專利申請號爲CN202323383709.8,授權日爲2024年12月24日。
專利摘要:本實用新型屬於物理氣相沉積技術領域,公開了一種靶材,包括第一臺階和第二臺階,第一臺階和第二臺階一體成型,在第一臺階和第二臺階設有相連的花紋組,花紋組包括第一花紋和第二花紋,第一花紋設於第一臺階的側面,第二花紋設於第二臺階的表面,第一花紋與第二花紋相互連接,第一花紋由多個凸出部連接形成,凸出部具有尖角,第二花紋與第一花紋結構相同。本實用新型的靶材,能夠提升靶材邊緣處反濺射物質的積累數量,延後反濺射物質的脫落,保證半導體鍍膜質量的同時,還能夠提高靶材的使用率,減少靶材的浪費。
今年以來江豐電子新獲得專利授權76個,較去年同期減少了36.13%。結合公司2024年中報財務數據,今年上半年公司在研發方面投入了1.02億元,同比增30.77%。
數據來源:天眼查APP
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