数据来源：天眼查APP證券之星消息，根據天眼查APP數據顯示中微公司（688012）新獲得一項實用新型專利授權，專利名爲「一種加熱裝置及半導體處理設備」，專利申請號爲CN202323552649.8，授權日爲2024年12月10日。
專利摘要：本實用新型公開一種加熱裝置及半導體處理設備。加熱裝置包括光纜，以及連接光纜末端的光投射器，所述光投射器沿光纜的出射光方向依次排布的準直部、擴束部、修正部和分光部；所述準直部用於將光纜的出射光轉變爲第一平行光；所述擴束部用於將所述第一平行光變成直徑更大的第二平行光；所述修正部用於將所述第二平行光的中心光能量向邊緣移動，形成第三平行光；所述分光部用於將所述第三平行光折射後轉化爲環形光，以向待加熱面投射光密度均勻的環形光斑。通過可調環形光源，改善在環型區域的加熱均勻性。
今年以來中微公司新獲得專利授權114個，較去年同期減少了21.92%。結合公司2024年中報財務數據，今年上半年公司在研發方面投入了5.68億元，同比增94.58%。
數據來源：天眼查APP
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