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芯碁微装(688630.SH):公司是基于DMD的直写光刻技术,DMD芯片的精度决定了产品精度

芯碁微裝(688630.SH):公司是基於DMD的直寫光刻技術,DMD芯片的精度決定了產品精度

格隆匯 ·  12/05 16:19

格隆匯12月5日丨芯碁微裝(688630.SH)在互動平台表示,公司是基於DMD(數字微鏡器件)的直寫光刻技術,DMD芯片的精度決定了產品精度,提升產品精度上首選方案是採用精度更高的DMD,目前市場能夠量產的DMD最高精度在5.4μm,這種精度的產能已遠超傳統曝光機。如果要更精細的線寬,就要採用微透鏡陣列(MLA)來升級,這種方式對於直寫光刻技術升級和改造發展貢獻會很大,量產後產能效率將大幅提升,產業應用範圍將非常廣闊。

譯文內容由第三人軟體翻譯。


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