投资建议：考 虑到24Q3交付加速以及明暗场、OCD等将于25、26年陆续贡献收入，上调24-26 年营收为13.50/20.12/30.04 亿元（前值13.01/19.34/28.45 亿元）。考虑到公司为实现关键产品卡位，近几年各项投入将保持高位，下调24-26 年EPS 为0.31/0.83/2.05 元（前值0.47/1.28/2.08 元）。参考可比公司PS 及考虑到公司所处量检测环节国产化率低以及未来收入增速更快，给予公司25 年15 倍PS，上调目标价为94.32 元（前值81.31 元），维持增持评级。本報告導讀：
業績符合預期，Q3 交付加速；依靠高研發支撐，公司新品佈局穩步推進；在研電子束關鍵尺寸檢測設備，補齊電子束賽道。
投資要點：
投資建議：考 慮到24Q3交付加速以及明暗場、OCD等將於25、26年陸續貢獻收入，上調24-26 年營收爲13.50/20.12/30.04 億元（前值13.01/19.34/28.45 億元）。考慮到公司爲實現關鍵產品卡位，近幾年各項投入將保持高位，下調24-26 年EPS 爲0.31/0.83/2.05 元（前值0.47/1.28/2.08 元）。參考可比公司PS 及考慮到公司所處量檢測環節國產化率低以及未來收入增速更快，給予公司25 年15 倍PS，上調目標價爲94.32 元（前值81.31 元），維持增持評級。
業績符合預期，Q3 交付加速。24Q1-Q3 營收8.12 億元/+38.21%，歸母淨利和扣非歸母淨利分別爲-0.52/-1.25 億元（去年同期0.79/0.19億元）。利潤較差主要系公司24 年爲卡位新產品加大研發投入，24Q1-Q3 公司研發費用3.35 億元/同比+131.8%，佔營收之比達41.25%。單24Q3 營收3.49 億元/+56.79%，歸母淨利0.16 億元。
24Q3 年毛利率49.64%/同比+2.06pct/環比+11.77pct，主要系高毛利產品交付恢復正常帶動。24Q3 末合同負債/存貨分別爲6.98/15.55 億元，24 年以來逐季增長，分別環比23 年底增長58.63%/39.84%，後續增長動能強勁。
依靠高研發支撐，公司新品佈局穩步推進。1）批產產品：①無圖形晶圓缺陷檢測：已批產型號市佔率不斷提升，更先進製程迭代順利。
②圖形晶圓缺陷檢測與三維形貌量測：加大HBM、2.5/3D 等先進封裝領域佈局，穩步推進先進型號產品研發。③膜厚量測：金屬及介質均穩步推進先進型號研發。④套刻精度量測：已實現批產同時推進先進型號研發。2）在驗產品：①明場：小批量出貨多家國內客戶產線驗證；②暗場及OCD：已出貨至部分客戶產線驗證。
在研電子束關鍵尺寸檢測設備，補齊電子束賽道。電子束關鍵尺寸檢測佔量檢測設備價值量8.1%，通過補齊電子束產品線，公司將實現量檢測光學及電子束兩大主流賽道全覆蓋，成長空間充分打開。
風險提示：半導體行業週期波動、國產替代不及預期、產品交付不及預期、新品驗證不及預期。
