格隆匯10月28日丨龍圖光罩(688721.SH)接受特定對象調研時表示,珠海募投項目前處於工藝驗證和客戶送樣階段,目前電子束光刻、幹法刻蝕、檢測等主要生產設備均已到廠完成安裝調試,第四季度進行小批量試產。
公司已開展了第三代半導體掩模版的技術的研究與儲備,包括PSM掩模版數據處理技術研究、二次光刻的精準對位研究、二次塗膠與烘烤工藝研究、PSM相移掩模版的灰度檢測方法研究等,涉及第三代掩模版的CAM、光刻、檢測全環節,已取得了一定的技術成果,形成多項知識產權與專有技術。
公司關鍵生產設備的折舊時間爲10年,募投項目存在一定的折舊壓力,如相應產品能夠順利驗證逐漸上量,預計良率和產能爬坡能夠按計劃達成。