对于业绩变化，芯源微表示原因包括该公司短交验周期订单与长交验周期订单分布不均匀，导致分季度收入存在一定波动；加大前道Track、前道化学清洗等研发投入；该公司员工人数增长、股份支付分摊等，导致管理费用、销售费用同比大幅增加。①芯源微表示，業績下滑主要是受公司短交驗週期訂單與長交驗週期訂單分佈不均勻，導致分季度收入存在一定波動等影響；②近年來，芯源微還佈局了化學清洗、臨時鍵合及解鍵合等領域。報告期內，其首臺化學清洗機KS-CM300機臺發機。
《科創板日報》10月23日訊（記者 吳旭光）10月22日晚間，芯源微發佈三季度業績公告稱，今年前三季度，該公司營收約11.05億元，同比減少8.44%；實現淨利潤約1.08億元，同比減少51.12%；實現扣非淨利潤約0.40億元，同比減少77.97%。
其中，今年第三季度，芯源微實現營業收入4.11億元，同比下降19.55%；歸屬於上市公司股東的淨利潤3150萬元，同比下降62.74%。
對於業績變化，芯源微表示原因包括該公司短交驗週期訂單與長交驗週期訂單分佈不均勻，導致分季度收入存在一定波動；加大前道Track、前道化學清洗等研發投入；該公司員工人數增長、股份支付分攤等，導致管理費用、銷售費用同比大幅增加。
芯源微主營業務涉及半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括塗膠機、顯影機、噴膠機等。根據該公司最近一期業績披露的主營業務收入構成爲：光刻工序塗膠顯影設備爲62.09%，單片式溼法設備爲34.95%，其他(補充)爲2.19%，其它設備爲0.77%。
對於該公司新一代超高產能塗膠顯影機FTEX的產業化進展，芯源微表示，目前超高產能FTEX機臺在調度設計和單元測試等研發進展順利，其將快速推進超高產能塗膠顯影機的驗證和產業化進程。
《科創板日報》記者注意到，近年來，芯源微在鞏固主業市場優勢的同時，還佈局了化學清洗、臨時鍵合及解鍵合等領域。
報告期內，芯源微首臺化學清洗機KS-CM300機臺發機。據悉，KS-CM300單片式化學清洗機是芯源微自主研發的首款高端設備，適用於Pre-deposition、Post-thinfilm、Post-etch等多種工藝，機臺所用高溫SPM清洗工藝被業界公認爲對28nm/14nm製程性能要求最高的工藝之一。
需要注意的是，10月22日晚間，芯源微發佈公告稱部分募投項目延期。
芯源微稱，結合目前該公司募投項目的實際建設情況和投資進度，將IPO首發募投項目「高端晶圓處理設備產業化項目（二期）」的預定可使用狀態時間，由2024 年12月8日調整到2026年12月8日。
對於項目延期原因，芯源微表示，根據該公司整體規劃， 2023年4月，其將項目實施地點由「遼寧省瀋陽市渾南區彩雲路1號」變更至「北至規劃路，南至創新路，西至沈本大街，東至沈本一街地塊」，在募投項目實施地點變更等因素影響下，造成上述項目研發週期延長。
