覆盖SiC 外延炉、硅基GaN 外延炉、6/8 寸多片硅外延炉等20 余款量产设备。5）清洗机：单片清洗机覆盖Al/Cu 制程全部工艺，是国内主流厂商后道制程的优选机台；槽式清洗机在多家客户端实现量产，屡获重复订单。2024Q3 業績持續高增：公司預計2024 年前三季度實現收入188.3-216.8 億元，歸母淨利潤41.3-47.5 億元，同比增長43.19%-64.69%，扣非淨利潤39.5-45.4 億元，同比增長49.62%-71.97%。2024Q3 公司實現收入74.2-85.4 億元，同比增長20.42%-38.60%，收入中值爲79.8億元，同比+29.51%；歸母淨利潤15.6-17.9 億元，同比增長43.78%-64.98%，歸母淨利潤中值爲16.75 億元，同比+54.38%/環比+1.27%；扣非淨利潤15.0-17.3 億元，同比增長45.49%-67.80%，扣非淨利潤中值爲16.15 億元，同比+56.65%/環比+3.04%。得益於公司刻蝕、薄膜沉積、清洗、爐管、退火等工藝設備工藝覆蓋度持續拓寬、市佔率穩步攀升、經營效率不斷提高，業績快速增長。全年來看，隨着公司營收規模擴大，平台優勢逐步顯現，公司業績有望同比持續高增。
Q3 盈利能力同比改善，環比下降我們判斷主要由研發費用增加所致：2024Q3 公司營收和歸母淨利潤預告中值對應的歸母淨利率爲20.99%，同比+3.38pct/環比-4.55pct；營收和扣非淨利潤預告中值對應的扣非淨利率爲20.24%，同比+3.51pct/環比-3.97pct。我們認爲淨利率環比下滑主要系Q3 研發費用增加、研發資本化率有所下降，毛利率波動較小。
本土半導體設備平台型公司，將長期受益國產替代浪潮：1）刻蝕設備：面向12 寸邏輯、存儲、功率、先進封裝等客戶，實現硅、金屬介質刻蝕工藝全覆蓋。2）薄膜沉積裝備：突破PVD、CVD 和ALD等多項核心技術，銅互聯薄膜沉積、鋁薄膜沉積等二十餘款產品成爲國內主流芯片廠的優選機臺。3）立式爐：中溫氧化/退火爐、高溫氧化/退火爐低溫合金爐，低壓化學氣相沉積爐、批式原子層沉積爐均已成爲國內主流客戶的量產設備，並持續獲得重複訂單。4）外延爐：
覆蓋SiC 外延爐、硅基GaN 外延爐、6/8 寸多片硅外延爐等20 餘款量產設備。5）清洗機：單片清洗機覆蓋Al/Cu 製程全部工藝，是國內主流廠商後道製程的優選機臺；槽式清洗機在多家客戶端實現量產，屢獲重複訂單。
盈利預測與投資評級：考慮到公司訂單情況，我們維持公司2024-2026 年歸母淨利潤預測分別爲56/73/92 億元，當前市值對應動態PE分別爲35/27/21 倍。基於公司較高的成長性，維持「買入」評級。
風險提示：下游擴產低於預期，新品拓展不及預期。