显然，High NA EUV 不太可能像最初的 EUV 那样出现延迟。我们应该期待它相对快速地推出和采用，因为高 NA 更像是 EUV 的“升级”，而不是一个全新的产品。如果您希望可以時常見面，歡迎標星 收藏哦~
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在今年的SPIE 大會上，ASML 新任首席執行官 Christophe Fouquet 發表了精彩的開幕/主題演講，重點關注High NA EUV。
顯然，High NA EUV 不太可能像最初的 EUV 那樣出現延遲。我們應該期待它相對快速地推出和採用，因爲高 NA 更像是 EUV 的「升級」，而不是一個全新的產品。
Christophe 談到了在客戶現場組裝掃描儀子組件的新方法，而不是在 ASML 組裝它們，然後在客戶現場將它們拆開並重新組裝。
這種方法已經在不太複雜的蝕刻工具和類似工具上實施了一段時間，但使用高複雜度的光刻工具則完全是另一回事。但它將節省大量時間和金錢。這將加速High NA 的進程。
常規 EUV 工具和High NA 工具之間唯一真正的區別是透鏡堆棧，因此如果您設計一個透鏡堆棧位於中間的工具，您可以將常規 EUV 透鏡、High NA 透鏡或Hyper NA 透鏡換入同一個基本工具中。
它具有大量的通用性、更多的成本節約、簡單性等等。ASML 採用的模塊化方法支持這種方法。
這顯然將有助於降低成本、減少利潤並縮短安裝時間。
演示中還提到，ASML 在聖地亞哥已擁有穩定的 740 瓦電源，並且有望實現 1000 瓦的供電。
總而言之，克里斯托夫在執掌後首次公開露面中表現非常出色。他的整體表現很棒。
將掩模尺寸從 6 英寸 X 6 英寸增加一倍至 6 英寸 X 12 英寸的想法是英特爾在去年的 SPIE 上認真提出的。在今年的會議上，這一想法得到了大力支持，許多光掩模基礎設施公司都參與其中。其中最主要也是最關鍵的是 ASML（Chritophe），他稱採用雙倍尺寸掩模對於行業來說是「理所當然的」，ASML 爲這一變革提供了巨大的支持。
這對 ASML 來說也意義重大，因爲它有助於克服High NA 的芯片尺寸限制。40% 的性能提升本身就值得進行轉換。
英特爾的 Mark Phillips 緊隨 Christophe Fouquet 之後繼續討論 High NA 主題。英特爾目前在波特蘭已安裝/運行兩個 High NA 系統。
Mark 展示了兩個系統的一些非常漂亮的圖像，這些圖像表明High NA 比標準 EUV 帶來的改進可能比預期的要好。由於已經積累了經驗，第二個系統的安裝速度比第一個更快。
值得注意的是，High NA 所需的所有基礎設施都已到位並開始運行。High NA 的光化掩模檢查已開始運行。因此，無需進行太多輔助支持工作即可將其投入生產。
有人還向 Mark 詢問了 CAR（化學增強型光刻膠）與金屬氧化物光刻膠的比較，Mark 說 CAR 目前還不錯，但未來某個時候我們可能需要金屬氧化物光刻膠。這似乎大大推遲了對金屬氧化物光刻膠（如 Lam 的乾式光刻膠）的需求，使其更遠的未來。這對 JSR 或 Lam 來說都不是好消息。
目標插入點是英特爾 14A 工藝，大約需要 3 年時間，這很可能比預期的要快。
（在會議上，我們聽到的有關High NA 的唯一故障是，將巨大的High NA 工具從拖車上運送到波特蘭的工廠很困難，因爲拖車在極端的重量負荷下彎曲了！）
這種近乎完美的安裝/啓動對英特爾來說是個好消息，因爲這是他們執行計劃所需的「勝利」，特別是在最初的 EUV 推出速度緩慢之後.
與最初迅速採用 EUV 相比，台積電以成本爲由遲遲未採high NA。我們認爲，台積電可能在與 ASML 爭奪更有利的條件，這有點像一場定位/談判遊戲。
我們認爲他們不會堅持太久，尤其是如果英特爾開始在high NA 工具方面取得領先地位的話。台積電將不得不屈服並順從。台積電在英特爾倡導的掩模倍增方面也進展緩慢，但最終也會順從，因爲這對他們來說是免費的性能提升。
我們聽說 ASML 的 Christophe Fouquet 和英特爾的 Anne Kelleher 在會議開幕前的週日進行了會面......也許是爲了談論他們在 High NA 推出方面的合作關係。
我們認爲，對於 KLA 及其長期推遲的 Actinic 掩模檢查計劃而言，即將出現一些好消息，這是非常需要的。
我們認爲這次會議對於high NA EUV的推出和摩爾定律的整體技術進步顯然非常積極。
這對英特爾和 ASML 來說顯然都是利好消息。這對英特爾來說無疑是好事，因爲它需要儘可能多地獲得技術優勢，而高 NA 可能是該行業目前正在經歷的最關鍵的技術變革。
這對 ASML 來說也是利好消息，因爲該公司股價一直不穩定且承受壓力，很大程度上是由於中國問題，而中國問題掩蓋了高北美市場的更大技術進步。
在更大的半導體市場上，一切都與人工智能、人工智能和人工智能有關......其他的都不重要。
由於一切都圍繞人工智能展開，因此後緣仍然較弱。
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