格隆匯9月25日丨茂萊光學(688502.SH)在投資者互動平台表示，公司爲光刻機光學系統提供用於勻光、中繼照明模塊的光學器件、投影物鏡，以及用於工件台位移測量系統的棱鏡組件，是光刻機實現光線均勻性與曝光成像的核心模塊。公司基於核心技術生產的大口徑光刻機曝光物鏡用光學器件突破常規透鏡尺寸和精度的指標要求，面形精度可達到小於30nm。
茂莱光学(688502.SH)：为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜
茂萊光學(688502.SH)：爲光刻機光學系統提供用於勻光、中繼照明模塊的光學器件、投影物鏡
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