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芯碁微装获得实用新型专利授权:“一种玻璃基板在线曝光吸附平台”

芯碁微裝獲得實用新型專利授權:「一種玻璃基板在線曝光吸附平台」

證券之星 ·  09/13 02:15

證券之星消息,根據天眼查APP數據顯示芯碁微裝(688630)新獲得一項實用新型專利授權,專利名爲「一種玻璃基板在線曝光吸附平台」,專利申請號爲CN202322818511.1,授權日爲2024年9月13日。

專利摘要:本實用新型公開了一種玻璃基板在線曝光吸附平台,屬於玻璃基板曝光技術領域,包括吸盤組件、曝光單元、Z軸組件和固定設置的滾輪輸送組件,所述吸盤組件包括與負壓設備連通且用於吸附玻璃基板的吸盤;曝光單元設置在所述吸盤組件的上方;Z軸組件用於驅動所述吸盤組件升降;所述滾輪輸送組件包括用於輸送玻璃基板的若干輸送滾輪;所述Z軸組件驅動所述吸盤升高至高位時,所述輸送滾輪頂端的高度低於所述吸盤上表面的高度,所述Z軸組件驅動所述吸盤下降至低位時,所述輸送滾輪頂端的高度高於所述吸盤上表面的高度。本實用新型一方面,降低了實際的曝光成本,另一方面,可以節省曝光設備的佔地空間,同時也能很好地融入到玻璃基板的生產線內。

今年以來芯碁微裝新獲得專利授權26個,較去年同期增加了13.04%。結合公司2024年中報財務數據,今年上半年公司在研發方面投入了4893.46萬元,同比增25.95%。

數據來源:天眼查APP

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