芯源微：國產塗膠顯影設備龍頭，夯實基礎多點發力芯源微成立於2002 年，前身爲中科院瀋陽自動化研究所創建的瀋陽芯源先進半導體技術有限公司。公司自成立以來即深耕光刻工序塗膠顯影設備和單片式溼法設備，連續兩次承擔國家02重大專項，經過20 餘年發展，已形成前道塗膠顯影設備、前道清洗設備、後道先進封裝設備、化合物等小尺寸設備四大業務板塊，產品已完整覆蓋前道晶圓加工、後道先進封裝、化合物半導體等多個領域。2023 年公司實現營業收入17.17 億元，同比增長23.98%；實現歸母淨利潤2.51 億元，同比增長25.21%。公司總產能規劃爲在2023 年底具備40 億元以上產能基礎，當前在手訂單飽滿，後續增長動力充沛。
塗膠顯影：市場地位穩固，國產化率較低增長空間廣闊塗膠顯影設備是晶圓製造產線上唯一與光刻機聯機作業的核心工藝設備，產品結構複雜，生產效率和穩定性要求較高，具備較高的技術壁壘。2023 年全球塗膠顯影設備市場規模約35 億美元，其中東京電子佔據90%以上的市場份額，中國本土廠商中僅芯源微具備少量的市場份額。
與其他核心工藝設備相比，塗膠顯影設備國產化率明顯偏低，未來還具備較大的提升空間。公司offline、I-line、KrF 等較成熟機臺已經實現了批量銷售，且技術指標持續提升，浸沒式機臺也已獲得國內5 家重要客戶訂單。2023 年公司光刻工序塗膠顯影設備實現收入10.66 億元，同比增長40.80%，毛利率爲38.84%。公司市場地位較爲穩固，目前簽單保持着良好的節奏。
清洗設備：物理清洗國內領先，化學清洗實現突破2023 年全球清洗設備市場規模約46 億美元，由DNS(SCREEN)、Lam Research、TEL、SEMES、盛美半導體、芯源微等公司佔據主要份額，其中前三大海外廠商的市場份額合計達到近75%。公司前道物理清洗已成爲國內邏輯、功率客戶首選品牌，近年來持續鞏固國內領先優勢；前道化學清洗機市場規模大於物理清洗機，公司已獲國內重要客戶驗證性訂單，產業化進程迅速推進中，有望成爲清洗設備的第二增長曲線。
先進封裝：積極佈局後道市場，產品導入頭部客戶公司後道先進封裝用塗膠顯影設備、單片式溼法設備已連續多年作爲主流機型批量應用於台積電、盛合晶微、長電科技、華天科技、通富微電、珠海天成等海內外一線大廠，已經成爲衆多知名客戶的首選品牌。同時，公司還推出了包括臨時鍵合、解鍵合、Frame 清洗等在內的多款新產品，應用於2.5D/3D 先進封裝領域，目前已經進入小批量銷售階段。
盈利預測：在手訂單充裕，多輪驅動增長
截至2023 年報告期末，公司在手訂單約22 億元（含稅）。公司前道塗膠顯影設備領域競爭格局良好，隨着產品的升級迭代，國內市場份額有望持續提升；前道清洗設備簽單較爲穩健，其中物理清洗機繼續保持行業龍頭地位，化學清洗機新品有望成爲公司新的業績增長點；隨着先進封裝需求的增長，公司後道領域產品組合（塗膠顯影、清洗、臨時鍵合、解鍵合）增長前景可期。我們預計公司2024-2026 年實現歸母淨利潤分別爲2.93 億元、4.16 億元、5.83 億元，對應當前市值市盈率水平分別爲44x、31x、22x，首次覆蓋給與「買入」評級。
風險提示
1、下游晶圓廠擴產節奏存在不確定性；
2、研發節奏存在不確定性。