我们测算2023 年中国大陆前道涂胶显影设备市场规模为10.15 亿美元，预计2025 年增长到13.17 亿美元。目前前道涂胶显影设备主要被日本东京电子所垄断，在全球市占率高达90%，涂胶显影设备国产替代迫切。公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，相关产品成功打破国外厂商垄断，前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点全覆盖，28nm 以下工艺技术正在验证中，有望充分受益涂胶显影设备国产替代趋势。【核心結論】預計2024-2026 年公司營收分別爲20.92/27.89/36.25 億元，歸母淨利潤爲3.26/4.34/5.76 億元。公司塗膠顯影產品成功打破國外廠商壟斷並填補國內空白，同時積極佈局化學清洗與臨時鍵合及解鍵合設備打開長期成長空間，首次覆蓋，給予公司“增持”評級。
【主要邏輯】
塗膠顯影設備是光刻工序關鍵設備，是唯一與光刻機聯機作業的核心工藝設備，行業進入門檻高，目前國產化率依然較低，該市場長期被日本廠商壟斷，本土廠商芯源微實現突破。芯源微作爲國內唯一可以提供量產型前道塗膠顯影機的設備商，2018 年推出首臺前道Track，經過多年發展，積累了工藝達標、光刻機聯機作業、穩定運行的寶貴經驗，完成了與數十臺光刻機的成功聯機量產。公司產品型號覆蓋度不斷提升，offline、I-line、KrF 節點產品已實現量產，ArF 浸沒式機臺正加速推進產業化，公司二季度新簽訂單情況良好，隨着客戶認可度的提升，公司市場份額有望實現不斷增長。
我們測算2023 年中國大陸前道塗膠顯影設備市場規模爲10.15 億美元，預計2025 年增長到13.17 億美元。目前前道塗膠顯影設備主要被日本東京電子所壟斷，在全球市佔率高達90%，塗膠顯影設備國產替代迫切。公司作爲國內唯一可以提供量產型前道塗膠顯影機的設備商，相關產品成功打破國外廠商壟斷，前道塗膠顯影設備已完成在晶圓加工環節28nm 及以上工藝節點全覆蓋，28nm 以下工藝技術正在驗證中，有望充分受益塗膠顯影設備國產替代趨勢。
積極佈局化學清洗、臨時鍵合及解鍵合等領域，打開成長空間。公司目前已經成爲國內前道物理清洗設備龍頭，化學清洗機已於2023 年第四季度獲得國內知名客戶驗證性訂單，未來有望逐步放量。鍵合設備方面，目前芯源微可應用於Chiplet 等領域的新產品臨時鍵合機、解鍵合機也實現國內多家客戶訂單導入，進一步打開先進封裝市場增長空間。
風險提示：新產品推廣不及預期的風險，行業競爭風險，宏觀環境風險
