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中微公司公布国际专利申请:“一种晶圆处理方法及用于晶圆处理的刻蚀-沉积一体设备”

中微公司公佈國際專利申請:“一種晶圓處理方法及用於晶圓處理的刻蝕-沉積一體設備”

證券之星 ·  06/24 04:22

證券之星消息,根據企查查數據顯示中微公司(688012)公佈了一項國際專利申請,專利名爲“一種晶圓處理方法及用於晶圓處理的刻蝕-沉積一體設備”,專利申請號爲PCT/CN2023/135062,國際公佈日爲2024年6月20日。

專利詳情如下:

圖片

圖片來源:世界知識產權組織(WIPO)

今年以來中微公司已公佈的國際專利申請7個,較去年同期增加了600%。結合公司2023年年報財務數據,2023年公司在研發方面投入了8.17億元,同比增34.91%。

數據來源:企查查

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