證券之星消息，根據企查查數據顯示中微公司（688012）新獲得一項實用新型專利授權，專利名爲“等離子體約束環、約束組件及等離子體處理裝置”，專利申請號爲CN202322731827.7，授權日爲2024年6月7日。
專利摘要：本實用新型提供一種等離子體約束環、一種等離子體約束組件及等離子體處理裝置。所述等離子體約束環包括：層疊的上環和下環，所述上環設置有第一排氣通道，所述下環設置有第二排氣通道，所述第一排氣通道與所述第二排氣通道流體連通，所述上環採用硅或碳化的材質製成，所述下環採用鋁合金材質製成。本實用新型用於解決等離子體約束環上陶瓷塗層壽命不足，需要頻繁更換約束環的問題。
今年以來中微公司新獲得專利授權73個，較去年同期增加了4.29%。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了8.17億元，同比增34.91%。
數據來源：企查查
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