①日漸龐大的半導體設備市場對參與方提出了新的發展要求。半導體設備行業的綠色化發展，其優先級也在不斷提升。 ②具體來看，目前國內一些半導體設備公司已經在環保合規及有害物質減排方面做出了自己的努力。
《科創板日報》6月21日訊（記者 楊小小）半導體設備行業正處於強勁增長時期。
根據SEMI報告，在產能擴張、新晶圓廠項目以及前端和後端對先進技術和解決方案的高需求的推動下，2025年全球半導體設備總銷售額預計將達到 1240 億美元的新高。尤其是中國，在去年全球半導體銷售額微降的大背景下，中國大陸地區半導體設備銷售額仍實現了同比28.3%的增長。隨着AI GPU需求的激增，國內還有望新增超600億元的先進封裝設備市場。
日漸龐大的市場也提出了新的發展要求。除了要進一步提升國內半導體設備設計製造能力，以保障產業鏈供應鏈的安全穩定外，半導體設備行業的綠色化發展，其優先級也在不斷提升。
半導體制造中涉及大量化學品，其中，有一種叫PFAS的原料，使用量巨大且仍難以替代，比如，含有PFAS成分的冷卻劑在半導體幹法蝕刻設備溫度控制中必不可少；另據《關於半導體行業中PFAS應用白皮書》，半導體供應鏈（包括製造芯片所需的複雜工具）、晶圓廠的衆多工藝步驟以及組裝和封裝工藝中的數千種基本應用都使用了各種 PFAS。
但PFAS同時也是一種臭名昭著的有毒物質，其持久性、遠距離遷移性和生物積累性，進一步加深了其對環境以及人體可能造成的巨大危害。美國毒物與疾病登記署此前發佈的一項報告顯示，PFAS一旦進入體內，就會干擾荷爾蒙和其它基本身體機能。長期接觸PFAS，即使是低水平，也可能會引發嚴重健康問題，包括癌症、不孕不育、先天缺陷、免疫系統紊亂等。
《半導體和其他電子產品製造業 EHS 指南》顯示，半導體及其他電子產品生產項目涉及到的環境問題主要包括危險物質的使用與廢物管理、廢氣排放、廢水、能源使用以及一般工藝改造。
面對行業快速增長帶來的巨大環保挑戰，一些市場參與主體已經開始展開探索。
上述《EHS指南》顯示，在抗乾燥、顯影和抗蝕作業中，大多數清洗和光刻工藝都可能釋放出揮發性有機化合物。而通常情況下，揮發性有機化合物排放物可被活性炭系統吸附回收和/或通過熱氧化劑處理。
德勤在一份報告中指出，半導體制造過程中會產生大量的廢氣、廢水和廢料，因此，半導體企業應該通過優化生產工藝和使用節能設備和工具，減少能源消耗和廢棄物產生，從而降低碳排放。
科創板上市公司具體案例分析
具體來看，目前，國內一些半導體設備公司已經在環保合規及有害物質減排方面做出了自己的努力。
中微公司主要從事半導體設備的研發、生產和銷售，通過向下遊集成電路、LED外延片、先進封裝、MEMS等半導體產品的製造公司銷售刻蝕設備和MOCVD 設備、提供配件及服務實現收入和利潤。
在廢棄物管理與有害物質排放方面，具體到固體廢棄物管理，中微公司表示主要對各類廢棄物進行分類收集管理。對於生產和研發過程中產生的危險廢物、一般工業固體廢物委託具有處置資質的第三方進行合規處置，並進行全流程追蹤；研發和生產過程中使用的各類化學品，公司則從採購、運輸、儲存、使用、報廢等各使用環節對化學品實施了全生命週期管理，實現全流程、全方位管控。據中微公司年報，報告期內的固廢處理費用總計爲 4.32 萬元。
廢氣管理方面，公司表示，針對不同的廢氣源，充分識別各種廢氣特徵污染物質，選擇具有更高處理效率的廢氣處理設施，減少污染物質的排放。同時，通過定期環境監測、處理效果分析與應急處置等舉措，有效對末端環境排放廢氣進行全面管控，並實現達標排放。
其還通過子公司中微惠創進行環保設備研發，近年來，立足於行業發展需求，開發了工業用大型 VOC 淨化設備、本地尾氣處理設備（Local Scrubber）等環保設備， 被廣泛應用於國內半導體和集成電路、泛半導體、面板顯示等行業生產製造過程中產生的廢氣處理，以改善潔淨室的工作環境。
廢危管理方面，2023 年中微公司產生危險廢棄物產生量 23 噸，均已委託有相關處置資質的第三方合規處置。
此外，中微公司還對供應商的EHS管理狀況進行了評估，將相應的環保合規安排延伸到了產業鏈上游。據悉，中微公司根據《中微供應商 EHS 評估表》對 12 家重點供應商的 EHS 管理狀況進行線上評估以及 5 家供應商現場評估，評估內容涉及環保、安全、職業健康、化學品管理、節能減排等方面，並在此基礎上制定發佈了《供應商 EHS 評估作業指導書》，協助供應商建立 EHS 評估計劃、執行 EHS 評估、針對評審結果制定改進方案，幫助供應商從建立和完善自身的 EHS 管理體系，積極推動供應商主動承擔企業社會責任。
另一半導體設備廠商盛美上海，亦對固體廢棄物進行分類管理。而在廢水管理方面，2023年年報顯示，公司報告期內川沙地區回收水系統年度維護和耗材更換費用8萬元，設備系統運行電費28萬元。其稱，公司在從事研發工作時，存在產生少量污染物的情形，產生的含氟、酸、鹼等廢水，統一收集後委託有資質的第三方公司外運處理。
廢氣處理方面，公司建有廢氣處理設施1套，用於處理公司研發實驗室產生的廢氣（包含酸性廢氣、鹼性廢 氣和有機廢氣），研發實驗過程中產生的廢氣經密閉管道收集後由 EVO 乾式氣相化學過濾裝置 進行統一處理，達標後排放，設計處理能力爲 15000 立方米/小時。
總體而言，國內半導體設備廠商在精進技術和產品能力的同時，對環保合規及有害物質減排也已經做出了初步的探索和努力。中國大陸作爲全球最大半導體消費市場，目前國產替代進入加速階段，國內的半導體設備更是在全球市場中表現出了極大的發展潛力，未來國內半導體廠商將面臨更高的環保合規要求，生產過程中可能造成的環境和人體健康影響，應當引起更大的重視。