證券之星消息，根據企查查數據顯示晶合集成（688249）新獲得一項發明專利授權，專利名爲“一種圖像傳感器及其製備方法”，專利申請號爲CN202410374098.0，授權日爲2024年6月14日。
專利摘要：本發明提供一種圖像傳感器及其製備方法，製備方法包括以下步驟：提供襯底，襯底上依次形成有金屬結構層、硬掩模複合層和第一TEOS層，硬掩模複合層依次包括氧化物層和氮化物層；刻蝕第一TEOS層，刻蝕停止在氮化物層中，以形成開口；採用氮化物層對氧化物層高刻蝕選擇比的刻蝕工藝，在開口處刻蝕所述氮化物層；採用不含氟元素的刻蝕氣體，在開口處幹法刻蝕所述氧化物層，以通過在金屬結構層和第一TEOS層之間增設硬掩模複合層，以將刻蝕第一TEOS層時的刻蝕停止層從現有的氮化鈦層表面調整至氮化物層中，使得刻蝕第一TEOS層時刻蝕氣體並沒有氮化鈦接觸，不會產生副產物，同時在刻蝕氧化物層時採用不含氟元素的刻蝕氣體，避免生成副產物，並不會出現金屬刻蝕缺陷。
今年以來晶合集成新獲得專利授權163個，較去年同期增加了87.36%。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了10.58億元，同比增23.39%。
數據來源：企查查
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