證券之星消息，根據企查查數據顯示清溢光電（688138）新獲得一項實用新型專利授權，專利名爲“一種IC掩膜版CD測量機”，專利申請號爲CN202322825222.4，授權日爲2024年6月14日。
專利摘要：本實用新型公開了一種IC掩膜版CD測量機，包括固定底架、花崗岩基座、XY軸精密中空平台、電氣控制系統、透射光源系統、Z軸支架、Z軸精密模組、顯微成像系統、主動式隔振機構。本實用新型所提出的一種IC掩膜版CD測量機，實現了對於IC掩膜版的測量，設備最小可測量線縫寬度爲0.4um,測量精度與重複精度可達5nm，可兼容多尺寸掩膜版，整機外形尺寸較小，可節省無塵室的寶貴空間。
今年以來清溢光電新獲得專利授權1個，較去年同期減少了50%。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了4895.34萬元，同比增9.41%。
數據來源：企查查
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