明场/暗场纳米设备研发稳步有序：明场/暗场纳米设备可实现对复杂电路图形的缺陷检测，是有极高技术壁垒的量检测设备。公司目前已完成明场纳米设备样机研发，正积极开样片的验证测试，并小批量出货到客户产线进行工艺开发与应用验证，进展顺利。暗场设备样机也已完成，正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片的验证测试。事件：中科飛測發佈2023 年報與2024Q1 季報。2023 年全年公司實現營收8.91億元，同比增長74.95%；歸母淨利潤1.40 億元，同比增長1072.38%。24Q1公司實現營收2.36 億元，同比增長45.60%；歸母淨利潤0.34 億元，同比增長9.16%。
保持高額研發投入，產品線與工藝覆蓋不斷擴張：2023 年公司研發投入達22,824.98 萬元，同比增長 10.93%。在充裕研發費用的支持下，公司量檢測設備技術研發與產業化進展順利，核心產品已包括無圖形缺陷檢測、明場/暗場納米缺陷檢測、三維形貌測量、膜厚檢測、套刻精度測量等多種設備。
套刻測量設備有效支持光刻工藝：中科飛測的套刻精度量測設備已實現批量銷售，訂單量快速增長，市佔率穩步提升；中科飛測的套刻設備在邏輯芯片製造過程中經過多層光刻工藝後，仍保持高穩定性和高精度；在存儲芯片領域可測量超厚光刻膠上的光刻偏移量，有效地解決存儲工藝高深寬比結構帶來的光刻工藝問題。
明場/暗場納米設備研發穩步有序：明場/暗場納米設備可實現對複雜電路圖形的缺陷檢測，是有極高技術壁壘的量檢測設備。公司目前已完成明場納米設備樣機研發，正積極開樣片的驗證測試，並小批量出貨到客戶產線進行工藝開發與應用驗證，進展順利。暗場設備樣機也已完成，正積極開展國內多家主流客戶的多種複雜圖形工藝樣片的驗證測試。
投資建議：基於中科飛測各類設備的研發與量產進度，我們預計公司2024-2026年實現營業收入12.82/18.16/24.15 億元，歸母淨利潤2.01/2.88/4.30 億元，對應PE 爲78.76/55.02/36.80 倍，維持“增持”評級。
風險提示：行業景氣度下行；客戶需求放緩；研發進度不及預期；行業競爭加劇。
