1、广义检测贯穿整个半导体制程，包括第三方实验检测、缺陷检测（ Defect Inspection ）与量测（Metrology） 、测试（Test）等，本篇是我们此前系列报告《检测设备系列之一：半导体缺陷检测——谁有机会成为中国的科磊？-20200224》的深化报告，重点聚焦在缺陷检测与量测部分，在本文中统称为检测设备。KLA-Tecnor为半导体制程中检测设备领域的绝对王者，本文深度分析半导体检测设备市场并借鉴KLA-Tencor的发展历程，梳理国内相关企业进展并给出投资建议。
2、市场规模&分类：1）芯片制程中检测设备种类多、市场空间大，根据我们测算，预计2020、2021年全球检测设备市场空间约为66.9、73.5亿美元、中国大陆该市场规模约为16.4、17.6亿美元。同时我们判断在检测设备中，缺陷检测与量测部分占比分别约为2/3、1/3，则相应2020年全球半导体缺陷检测、量测设备的市场规模约为44.6、22.3亿美元，2021年分别约为49、24.5亿美元；中国大陆2020年两者分别约为10.9、5.5亿美元；2021年分别约为11.7、5.9亿美元。2）制程检测设备有不同的分类方法可以分为：缺陷检测、物性量测；光学检测、电子束检测等；有图形检测、无图形检、光刻套刻测量等。
3、市场格局：1）根据SEMI数据，KLA-Tencor在前道全球检测和测量市场中占比过半、稳居行业第一，堪称半导体检测设备领域王者，且在所有半导体设备企业中排名第五；其次是应用材料和日立，二者市占率均超过10%，前三市占率合计达到75%，其他重要企业有Onto（Nanometrics和Rudolph合并而来）、Nova等。2）国内半导体检测设备领域，相关企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局，在部分细分领域已取得较大进展，但整体来看国产化率仍非常低（我们判断在5%以下），可以留给国内企业的市场空间和挑战并存。
投资建议：从目前国内主要企业中标情况来看，量测部分（如膜厚测量等设备）已有部分企业能够中标长存等，但缺陷检测部分中标非常少，重点推荐赛腾股份（Optima）：Optima主要产品为缺陷检测设备，客户为韩国日本等大型晶圆、芯片制造企业，国内是其未来重点拓展领域，目前国内既有客户包括新晟、中环、奕斯伟等，未来有望通过扩充产品线、国产化进程加快等方式进入更多客户。
风险提示：疫情超预期；公司相关产品订单不及预期；中美贸易摩擦超预期等。
1、廣義檢測貫穿整個半導體制程，包括第三方實驗檢測、缺陷檢測（ Defect Inspection ）與量測（Metrology） 、測試（Test）等，本篇是我們此前系列報告《檢測設備系列之一：半導體缺陷檢測——誰有機會成爲中國的科磊？-20200224》的深化報告，重點聚焦在缺陷檢測與量測部分，在本文中統稱爲檢測設備。KLA-Tecnor爲半導體制程中檢測設備領域的絕對王者，本文深度分析半導體檢測設備市場並借鑑KLA-Tencor的發展歷程，梳理國內相關企業進展並給出投資建議。
2、市場規模&分類：1）芯片製程中檢測設備種類多、市場空間大，根據我們測算，預計2020、2021年全球檢測設備市場空間約爲66.9、73.5億美元、中國大陸該市場規模約爲16.4、17.6億美元。同時我們判斷在檢測設備中，缺陷檢測與量測部分佔比分別約爲2/3、1/3，則相應2020年全球半導體缺陷檢測、量測設備的市場規模約爲44.6、22.3億美元，2021年分別約爲49、24.5億美元；中國大陸2020年兩者分別約爲10.9、5.5億美元；2021年分別約爲11.7、5.9億美元。2）製程檢測設備有不同的分類方法可以分爲：缺陷檢測、物性量測；光學檢測、電子束檢測等；有圖形檢測、無圖形檢、光刻套刻測量等。
3、市場格局：1）根據SEMI數據，KLA-Tencor在前道全球檢測和測量市場中佔比過半、穩居行業第一，堪稱半導體檢測設備領域王者，且在所有半導體設備企業中排名第五；其次是應用材料和日立，二者市佔率均超過10%，前三市佔率合計達到75%，其他重要企業有Onto（Nanometrics和Rudolph合併而來）、Nova等。2）國內半導體檢測設備領域，相關企業目前實行自主研發與併購並舉的方式進行佈局，在部分細分領域已取得較大進展，但整體來看國產化率仍非常低（我們判斷在5%以下），可以留給國內企業的市場空間和挑戰並存。
投資建議：從目前國內主要企業中標情況來看，量測部分（如膜厚測量等設備）已有部分企業能夠中標長存等，但缺陷檢測部分中標非常少，重點推薦賽騰股份（Optima）：Optima主要產品爲缺陷檢測設備，客戶爲韓國日本等大型晶圓、芯片製造企業，國內是其未來重點拓展領域，目前國內既有客戶包括新晟、中環、奕斯偉等，未來有望通過擴充產品線、國產化進程加快等方式進入更多客戶。
風險提示：疫情超預期；公司相關產品訂單不及預期；中美貿易摩擦超預期等。
