定增融资，三地布局提升产能：2022 年12 月10 日公司发布公告拟定增18亿元，其中12.6 亿元用于建设上海、启东、北京在内的生产研发基地。项目建成后，可用于炉管、涂胶显影设备、光伏制绒清洗设备，及14 纳米高端设备所需湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀的研发与量产，提升公司的供应能力和技术水平。事件：至純科技發佈2022 年度報告：公司全年實現營收30.50 億元，同比增長46.32%；歸母淨利潤2.82 億元，同比增長0.24%； 扣非後歸母淨利潤2.85億元，同比增長76.03%。
新簽訂單金額保持較快增長，非經常項目拖累利潤增速：公司接單量維持高位，第四季度單季新簽訂單金額5.98 億元；全年新增訂單總額爲42.19 億元，同比增長30.62%，其中半導體制程設備新增訂單18.00 億元，同比增長60.71%。公司2022 年政府補助、投資收益、房地產收益都明顯減少，非經常項目損益爲-0.03 億元，相比2021 年的1.20 億元出現明顯下降，是利潤增速放緩的主要原因。
加大研發投入聚焦高端清洗設備：公司2022 年累計研發費用1.93 億元，同比增長33.37%。公司已交付4 臺14 納米級清洗設備，並繼續研發14-7 納米相關技術。日本限制出口多種清洗設備後，晶圓廠對國產設備的支持力度有望加大，公司相關產品導入驗證也有望加快。
定增融資，三地佈局提升產能：2022 年12 月10 日公司發佈公告擬定增18億元，其中12.6 億元用於建設上海、啓東、北京在內的生產研發基地。項目建成後，可用於爐管、塗膠顯影設備、光伏制絨清洗設備，及14 納米高端設備所需溼法工藝模塊、單片式腔體、高純度閥的研發與量產，提升公司的供應能力和技術水平。
投資建議：考慮半導體下行週期、公司在手訂單規模、研發進度等多種因素的影響，我們預計公司2023-25 年營收爲41.01/50.39/62.31 億元，歸母淨利潤分別爲5.31/6.98/8.65 億元，對應PE 爲26.50/20.16/16.27 倍，給予“增持”評級。
風險提示：半導體市場下行週期疊加海外供應風險，國內半導體設備需求放緩；高端產品研發進度不及預期；行業競爭加劇。
