核心观点：
公司公布中报，扣非同比大幅增长。22H1 收入11.20 亿，同比增长21.67%；归母净利润0.81 亿，同比下降45.92%，主要是因为21H1收到的政府补助及处置长期股权投资所获收益金额较大；扣非净利润0.97 亿，同比增长128.12%；毛利率为36.09%，同比增长5.22pct。
国产替代进展良好，公司订单保持高增长。公司主营业务为高纯工艺集成系统、半导体设备和光传感器及光电子元器件，在高纯工艺系统领域公司已成为行业领头羊，打破了原先由国外气体公司垄断的市场格局。根据公司半年报和中国招标网，截至2022 年6 月30 日，公司新增订单总额为23.62 亿元，同比增长37.33%，其中含184 套与中芯东方签订的特殊气体系统，为公司全年40 亿订单目标奠定较好基础。
半导体制程设备业务持续发力。根据公司2021 年年报，公司于2015年开始布局半导体设备，2018 年取得订单，目前可提供湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。2022 年上半年，半导体制程设备新增订单8.06 亿元，同比增长73.09%；实现收入4.66 亿元，同比增长73.09%，贡献了41.6%的营收；毛利率35.11%，同比提升11.21pct。
公司湿法设备进度从验证和初次订单展开到已验证工艺机台的重复订单，且在22H1 陆续交付4 台14 纳米以下制程的设备，未来将随下游需求继续保持增长。
盈利预测与投资建议。预计22-24 年收入分别为28.64/38.91/50.40 亿，EPS 1.23/1.70/2.25 元，现价对应22 年PE 为29.3 倍，参考可比公司，给予2022 年45 倍PE，对应合理价值55.35 元/股，维持“买入”
评级。
风险提示。下游资本开支不及预期；核心零部件进口风险；行业竞争加剧导致毛利率下滑。
核心觀點：
公司公佈中報，扣非同比大幅增長。22H1 收入11.20 億，同比增長21.67%；歸母淨利潤0.81 億，同比下降45.92%，主要是因為21H1收到的政府補助及處置長期股權投資所獲收益金額較大；扣非淨利潤0.97 億，同比增長128.12%；毛利率為36.09%，同比增長5.22pct。
國產替代進展良好，公司訂單保持高增長。公司主營業務為高純工藝集成系統、半導體設備和光傳感器及光電子元器件，在高純工藝系統領域公司已成為行業領頭羊，打破了原先由國外氣體公司壟斷的市場格局。根據公司半年報和中國招標網，截至2022 年6 月30 日，公司新增訂單總額為23.62 億元，同比增長37.33%，其中含184 套與中芯東方簽訂的特殊氣體系統，為公司全年40 億訂單目標奠定較好基礎。
半導體制程設備業務持續發力。根據公司2021 年年報，公司於2015年開始佈局半導體設備，2018 年取得訂單，目前可提供濕法槽式清洗設備及濕法單片式清洗設備。2022 年上半年，半導體制程設備新增訂單8.06 億元，同比增長73.09%；實現收入4.66 億元，同比增長73.09%，貢獻了41.6%的營收；毛利率35.11%，同比提升11.21pct。
公司濕法設備進度從驗證和初次訂單展開到已驗證工藝機臺的重複訂單，且在22H1 陸續交付4 台14 納米以下製程的設備，未來將隨下游需求繼續保持增長。
盈利預測與投資建議。預計22-24 年收入分別為28.64/38.91/50.40 億，EPS 1.23/1.70/2.25 元，現價對應22 年PE 為29.3 倍，參考可比公司，給予2022 年45 倍PE，對應合理價值55.35 元/股，維持“買入”
評級。
風險提示。下游資本開支不及預期；核心零部件進口風險；行業競爭加劇導致毛利率下滑。
