目前信越化學KrF光刻膠產能不足，我國多家晶圓廠KrF光刻膠供應緊張，部分中小晶圓廠甚至遭遇了斷供，多家晶圓廠在加速驗證導入本土KrF光刻膠。今年以來，除了臺積電、三星、英特爾等晶圓廠積極擴產外，中芯國際、華虹宏力等本土晶圓廠也積極擴產和釋放產能，這導致國內光刻膠需求量大增，尤其是在KrF、ArF等高端光刻膠。 (上證報)
KrF光刻胶供应紧张 晶圆厂正加速导入本土产品
KrF光刻膠供應緊張 晶圓廠正加速導入本土產品
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