根據計劃,台積電最新的N2(2nm)製程將於明年下半年開始量產,目前臺積電正在盡最大努力完善該技術,以降低可變性和缺陷密度,從而提高良率。不久前,一位台積電員工最近對外透露,該團隊已成功將N2測試芯片的良率提高了6%,爲公司客戶「節省了數十億美元」。而根據最新的爆料稱,台積電N2目前的良率已經達到了60%。不過這些信息尚未得到進一步證實。
而在上週於美國舊金山舉行的 IEEE 國際電子設備會議(IEDM)上,台積電研發和先進技術副總裁Geoffrey Yeap披露了有關其 N2製程工藝的更多細節。
據介紹,N2製程在相同電壓下可以將功耗降低 24% 至 35%,或將性能提高15%,晶體管密度比上一代 3nm 工藝高 1.15 倍。而這些指標的提升主要得益於台積電的新型全環繞柵極(GAA)納米片晶體管,以及 N2 NanoFlex 設計技術協同優化和其他一些增強功能實現的。
其中,全環繞柵極納米片晶體管允許設計人員調整其通道寬度,以平衡性能和功率效率。
Geoffrey Yeap進一步解釋稱,N2是台積電「四年多的勞動成果」,今天的 FinFET 晶體管的核心有一個垂直的硅片,而全環繞柵極納米片晶體管有一堆狹窄的硅帶。這種差異不僅提供了對流經器件的電流的更好控制,還允許工程師通過製造更寬或更窄的納米片來生產更多種類的器件。FinFET只能通過乘以器件中的翅片數量來提供這種多樣性,例如具有一個、兩個或三個翅片的器件。但全環繞柵極納米片爲設計人員提供了介於兩者之間的漸變選擇,例如相當於 1.5 個翅片或任何可能更適合特定邏輯電路的東西。
台積電將該技術稱爲 Nanoflex,允許在同一芯片上使用不同的納米片寬度構建不同的邏輯單元。即由窄器件製成的邏輯單元可能構成芯片上的通用邏輯,而那些具有更寬納米片、能夠驅動更多電流和更快開關的邏輯單元將構成 CPU 內核。
簡單來說,該技術使設計人員能夠開發具有最小面積和更高功率效率的窄單元,或爲實現最佳性能而優化的寬單元。該技術還包括六個電壓閾值電平 (6Vt),範圍爲 200mV,使用台積電第三代基於偶極子的集成實現,同時具有 n 型和 p 型偶極子。
N2 製程在工藝和器件層面引入的創新不僅旨在通過細化片材厚度、結、摻雜劑活化和應力工程來提高晶體管驅動電流,還旨在降低有效電容 (Ceff) 以實現一流的能效。總的來說,這些改進使 N 型和 P 型納米片晶體管的 I/CV 速度分別提高了約 70% 和 110%。
與 FinFET 晶體管架構相比,N2的全環繞柵極納米片晶體管在 0.5V 至 0.6V 的低電源電壓範圍內可提供明顯更好的每瓦性能,其中工藝和設備優化將時鐘頻率提高了約 20%,並在 0.5V 工作時將待機功耗降低了約 75%。此外,集成 N2 NanoFlex 和多閾值電壓 (multi-Vt) 選項,爲高邏輯密度的節能處理器提供了額外的設計靈活性。
台積電N2的晶體管架構和 DTCO 優勢直接影響 SRAM 可擴展性,而近年來,前沿節點很難實現這一點。
藉助 N2,台積電成功實現了創紀錄的約 37.9Mb/mm² 的 2nm SRAM 密度。而根據最新曝光的資料顯示,Intel 18A的SRAM密度約爲31.8 Mb/mm² ,顯然台積電N2的SRAM密度更高。同時也比N3製程提高了11%。而N3僅比自己的前代提高了6%。
除了創下創紀錄的 SRAM 密度外,台積電N2還降低了其功耗。由於 GAA 納米片晶體管具有更嚴格的閾值電壓變化 (Vt-sigma),因此與基於 FinFET 的設計相比,N2 的大電流 (HC) 宏的最小工作電壓 (Vmin) 降低了約 20mV,高密度 (HD) 宏的最小工作電壓 (Vmin) 降低了 30-35mV。這些改進使 SRAM 讀寫功能穩定到大約 0.4V,同時保持穩健的良率和可靠性。
除了新的晶體管外,台積電N2還採用了全新的無屏障的全鎢中間線(MoL,middle-of-line)層、後端佈線 (BEOL,back-end-of-line)和遠 BEOL 佈線,將電阻降低了 20% 並提高了性能效率。N2 的 MoL 現在使用無障礙鎢絲,將垂直柵極接觸 (VG) 電阻降低了 55%,並將環形振盪器的頻率提高了約 6.2%。
此外,第一個金屬層 (M1) 現在在一個 EUV 曝光通道中創建,然後是一個蝕刻步驟 (1P1E),從而降低了複雜性,減少了掩模數量,並提高了整體工藝效率。
Yeap表示,優化的 M1 採用新穎的 1P1E EUV 圖形,使標準電池電容降低了近 10%,並節省了多個 EUV 掩模。「總之,N2 MoL 和 BEOL RC 降低了約超過20%,爲節能計算做出了重大貢獻。」
此外,N2 用於 HPC 應用的額外功能包括超高性能 MiM (SHP-MiM) 電容器,可提供約 200fF/mm² 的電容,這有助於通過減少瞬態電壓下降來實現更高的最大工作頻率 (Fmax)。
據台積電稱,N2 技術具有具有平坦鈍化和 TSV 的新型 Cu RDL 選項,該選項針對面對面和麪對面的 3D 堆疊進行了優化,SoIC 鍵合間距爲 4.5 μm,這將成爲 AI、HPC 甚至移動設計的可用功能。
目前臺積電 N2處於風險生產階段,並計劃於 2025 年下半年量產。另一種被稱爲 N2P 的工藝正在開發中。N2P 是 N2 的增強版本,預計將帶來5%的性能提升,具有完全的 GDS 兼容性。預計將於 2025 年完成資格認證階段,計劃於 2026 年量產。
對於客戶來說,隨着台積電N2的量產,屆時2nm晶圓的代工報價可能將達到2.5萬-3萬美元/片,遠高於當前3nm晶圓約2萬美元/片的價格。
但是N2所能夠帶來的晶體管密度提升、性能提升或功耗降低則相對有限,再加上初期的良率問題,這也意味着一片12英寸2nm晶圓所能夠切出來的可用的單顆芯片的成本將會大幅提升,顯然這將會抑制可能客戶對於2nm製程的採用。
預計初期能夠用得起台積電2nm製程的客戶只有蘋果公司、英偉達、AMD、高通和聯發科等少數頭部客戶,但是從產品規劃來看,英偉達和AMD在2026年可能都將不會採用2nm製程,相對來說蘋果、高通、聯發科則有可能會在2026年的旗艦芯片上採用。
編輯:芯智訊-浪客劍