2024年12月02日
推文
住友重型機械股份有限公司 精密設備事業部、產業設備事業部、機電一體化事業部、住友重型機械離子科技股份有限公司將參展「SEMICON Japan 2024」。
■舉辦時間：2024年12月11日（星期三）至12月13日（星期五） 10:00～17:00
■會場：東京國際展示中心
■展位位置：東4廳 小間編號4629（精密設備事業部、產業設備事業部），東5廳 小間編號5137（住友重型機械離子科技股份有限公司、機電一體化事業部）
■官方網站：SEMICON Japan 2024
※參觀之前需要進行預註冊。
【亮點】
精密設備事業部
我們將展示專注於節能的冷凍泵（實機展示）和真空機器人（面板展示）。
工業設備事業部
我們將展示高品質低溫氧化的「反應性負離子照射裝置」和「反應性等離子體沉積裝置RPD（Reactive Plasma Deposition）」，以及用於MCZ的超導磁體（面板展示）。
機電一體化事業部
我們將展示支持下一代半導體制造的納米級定位平台。
·CA / CS 系列
獨特的技術在真空條件下提供納米級的定位。由於採用氣動驅動，因此在真空腔內沒有發熱，主要元件爲陶瓷，非常適合使用電子束的設備。
・SA-GⅡ系列
以高精度實現納米級定位。通過我們獨特的反力處理單元，在高加減速移動時將檯面的振動最小化，從而實現高定位精度和短整定等待時間。此外，使用選配的元件，可以根據客戶的獨特需求設計和製造ZΘTilt等定製化產品。
住友重機械離子科技有限公司
根據各種用途，推薦高電流、中電流和高能源的各類離子注入機-半導體。
同時，我們還介紹了面向圖像傳感器市場的新設備SS-UHEⅡ。
誠摯期待各位的光臨。
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