数据来源：天眼查APP證券之星消息，根據天眼查APP數據顯示芯源微（688037）新獲得一項實用新型專利授權，專利名爲「晶圓緩存裝置和半導體設備」，專利申請號爲CN202323476870.X，授權日爲2024年11月5日。
專利摘要：本實用新型提供了一種晶圓緩存裝置和半導體設備，晶圓緩存裝置包括緩存組件,緩存組件包括若干組緩存單元，緩存單元包括N個用於承載晶圓的晶圓支撐件，N爲大於等於3的正整數；晶圓支撐件包括支撐件本體和設置於支撐件本體的近端的晶圓接觸部，每組緩存單元中的N個晶圓支撐件的支撐件本體分別沿需承載的晶圓的不同半徑方向設置；晶圓接觸部的表面高於或低於支撐件本體的表面，每組緩存單元中的N個晶圓支撐件的晶圓接觸部均勻分佈於同一圓周上以構成承載晶圓的晶圓緩存工位。以解決現有技術中晶圓與支撐件之間具有較大的接觸面積，導致機械臂夾取晶圓快速離開支撐件時產生的破真空效應引起振動而對晶圓造成損傷的問題。
今年以來芯源微新獲得專利授權29個，與去年同期持平。結合公司2024年中報財務數據，今年上半年公司在研發方面投入了1.17億元，同比增52%。
數據來源：天眼查APP
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