證券之星消息,根據企查查數據顯示中微公司(688012)新獲得一項實用新型專利授權,專利名爲“等離子體約束環、約束組件及等離子體處理裝置”,專利申請號爲CN202322731827.7,授權日爲2024年6月7日。
專利摘要:本實用新型提供一種等離子體約束環、一種等離子體約束組件及等離子體處理裝置。所述等離子體約束環包括:層疊的上環和下環,所述上環設置有第一排氣通道,所述下環設置有第二排氣通道,所述第一排氣通道與所述第二排氣通道流體連通,所述上環採用硅或碳化的材質製成,所述下環採用鋁合金材質製成。本實用新型用於解決等離子體約束環上陶瓷塗層壽命不足,需要頻繁更換約束環的問題。
今年以來中微公司新獲得專利授權73個,較去年同期增加了4.29%。結合公司2023年年報財務數據,2023年公司在研發方面投入了8.17億元,同比增34.91%。
數據來源:企查查
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