證券之星消息，根據企查查數據顯示龍騰光電（688055）新獲得一項發明專利授權，專利名爲“曝光系統及曝光方法”，專利申請號爲CN202111041952.4，授權日爲2024年6月11日。
專利摘要：一種曝光系統，包括光源組件、半透鏡、全反射鏡、弧形鏡組、掩膜板和透鏡組，光源組件發出的光依次經過半透鏡、弧形鏡組、掩膜板、透鏡組後進行第一次曝光，全反射鏡與半透鏡相對設置，半透鏡可將光反射至全反射鏡，全反射鏡反射的光實現第二次曝光。本發明的曝光系統能提高圖像線寬關鍵尺寸的均一性，提升了產品良率。本發明還涉及一種曝光方法。
今年以來龍騰光電新獲得專利授權102個，較去年同期增加了2%。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了2.2億元，同比增14.47%。
數據來源：企查查
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