格隆匯5月17日丨海目星(688559.SH)在互動平台表示，公司在TGV（Through Glass Via，玻璃通孔）技術上正在進行研發投入，激光方面結合現在主流技術正在進行兩個工藝路徑的開發，包括激光刻蝕技術和激光誘導變性技術。 其中激光刻蝕技術由於不需要掩膜，可以省略部分工藝過程，對製造成本的降低具有重要作用。該方法通過形成一定傾斜角度的深孔，可在深孔內填充金屬。但現有難點是對於通孔數量較多的情況具有一定瓶頸，刻蝕效率和產量不高。 激光誘導變性技術是通過皮秒脈衝激光誘導的方式在玻璃上產生連續的變性區。該方式可以讓變性區域在蝕刻劑中的刻蝕程度提升、反應速度加快。通過該方式更容易實現高深寬比的深孔，同時通過深度蝕刻的方式，變性區域可加工超微孔，現內部正進行更小微孔加工測試。 公司通過激光與溼法的配合，進行了多項技術研發與儲備，現可通過多種方式實現小孔徑、高深寬比的通孔加工方式。 目前公司的全資子公司星能懋業主要從事半導體及光伏溼法和電鍍工藝的研發及相關設備開發，研發團隊及技術主要來自德國，擁有20年以上相關設備開發經驗。 接下來，公司將通過材料、激光及溼法的相互配合，降低技術難度，共同推進TGV技術的發展。
海目星(688559.SH)：在TGV技术上正在进行研发投入
海目星(688559.SH)：在TGV技術上正在進行研發投入
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