證券之星消息，根據企查查數據顯示中微公司（688012）新獲得一項發明專利授權，專利名爲“帶溫度維持裝置的隔離環”，專利申請號爲CN201911106901.8，授權日爲2024年5月10日。
專利摘要：本發明公開了一種帶溫度維持裝置的隔離環，設置於等離子體處理裝置內，等離子體處理裝置包括由多個壁圍成的反應腔，反應腔的上部設置有用於引入氣體至反應腔內的氣體噴淋頭，反應腔的下部設置有用於承載基片的基座，氣體噴淋頭與基座之間形成有對基片進行處理的等離子體，隔離環環繞於氣體噴淋頭並限制等離子體於隔離環所設有的壁體內，隔離環包括靠近等離子體的內隔離環及環繞內隔離環的外隔離環，內隔離環與外隔離環之間設置有溫度維持裝置，用於保持內隔離環溫度以防止聚合物沉積於內隔離環表面，此帶溫度維持裝置的隔離環可持續保持高溫而有效抑制聚合物的產生。
今年以來中微公司新獲得專利授權58個，較去年同期減少了7.94%。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了8.17億元，同比增34.91%。
數據來源：企查查
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