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高华科技获得发明专利授权:“MEMS加速度计及其制备方法”

高華科技獲得發明專利授權:“MEMS加速度計及其製備方法”

證券之星 ·  05/02 02:00

證券之星消息,根據企查查數據顯示高華科技(688539)新獲得一項發明專利授權,專利名爲“MEMS加速度計及其製備方法”,專利申請號爲CN202310310799.3,授權日爲2024年4月30日。

專利摘要:本公開實施例提供一種MEMS加速度計及其製備方法。MEMS加速計包括:襯底;支撐柱,設置於襯底;第一連接梁,設置於支撐柱背離襯底的一側;第二連接梁,設置於襯底並與第一連接梁相對間隔設置;感應元件和質量塊,均設置於第二連接梁;雙材料彈性支撐組件,位於第一連接梁和第二連接梁之間,兩端分別與第一連接梁和第二連接梁連接,雙材料彈性支撐組件由兩個不同膨脹係數的材料製作形成。本公開的MEMS加速度計,能有效降低加速度計在承受較大加速度時第二連接梁發生斷裂的可能性,具有一定的抗過載能力;另外,還可以避免質量塊在未受到加速度時發生位移,從而抑制加速度計的零漂現象;最後,還可以實現對加速度計的溫漂補償。

今年以來高華科技新獲得專利授權11個。結合公司2023年年報財務數據,2023年公司在研發方面投入了4973.89萬元,同比增38.03%。

數據來源:企查查

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