投資要點：
事件：公司發佈2023 年年報和2024 年一季報，符合預期。公司2023 年營收8.91 億元，同比增長75.0%，扣非歸母淨利潤3169 萬（2022 年-8785 萬），歸母淨利潤1.40 億元，同比增長1072%；2024 年一季度公司實現營收2.36 億元，同比增長45.6%，扣非歸母淨利潤778 萬（去年同期-79 萬），歸母淨利潤3424 萬，同比增長9.2%。
公司主要產品型號訂單量穩步增長，1Q24 合同負債回升。截至2023 年末，公司累計生產交付近300 臺無圖形晶圓缺陷檢測設備、超過200 臺圖形晶圓缺陷檢測設備、近150臺三維形貌量測設備，覆蓋超過100 家客戶產線，同時公司套刻精度量測設備已實現批量銷售。截至2024 年3 月末，公司合同負債4.78 億，較年初增加0.38 億，預計公司2024年一季度新簽訂單持續增長。
明場、暗場納米級檢測設備研發進展順利，推進客戶產線驗證。公司自主研發的納米量級明場圖形晶圓缺陷檢測設備目前已完成適用於邏輯芯片、存儲芯片等應用領域的設備樣機研發，已經小批量出貨到多家國內頭部客戶產線上進行工藝開發與應用驗證工作，目前進展順利；納米量級暗場圖形晶圓缺陷檢測設備採用深紫外激光暗場掃描與成像探測技術，目前也已經完成設備樣機研發，正積極開展國內多家主流客戶的多種複雜圖形工藝樣片包括邏輯、存儲、功率、2.5D HBM等芯片的驗證測試。
檢測量測設備國產化率極低，國產替代存在巨大空間。根據公司年報，2022 年中國大陸半導體檢測量測設備市場規模40.2 億美元（約合人民幣291 億元），同比增長36%，且預計2023 年進一步增長；公司2023 年營收8.9 億佔2022 年檢測量測設備市場規模約3.0%，推算2023 年公司營收市佔率低於3%，反映國內檢測量測設備國產化率整體極低，未來市佔率快速提升趨勢有望持續。
投資分析意見：上調盈利預測，維持“增持”評級。預計產業鏈自主可控大趨勢下中科飛測將維持市佔率快速提升趨勢，同時技術研發不斷突破帶來產品品類持續增加，預計公司業績高速增長有望持續，上調公司2024~2025 年業績預測、並新增26 年業績預測。預計公司2024~2026 年營業收入分別爲13.8、18.8、23.9 億元（原預測2024~2025 年11.9、16.8 億元），同比增速分別爲54.78%、36.2%、27.4%，預計公司2024~2026年歸母淨利潤分別爲1.95、2.74、3.48 億元（原預測2024~2025 年1.44、1.97 億元）。
風險提示：需求低於預期影響晶圓廠擴產節奏；設備驗證結果不達預期；原材料採購週期延長風險。