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华工科技(000988.SZ):华工激光自主研制的第三代半导体晶圆激光切割装备已完成测试

華工科技(000988.SZ):華工激光自主研製的第三代半導體晶圓激光切割裝備已完成測試

格隆匯 ·  04/03 15:18

格隆匯4月3日丨華工科技(000988.SZ)於4月2日召開業績說明會,就“公司在碳化硅方面的技術和產品儲備?”,公司回覆稱,碳化硅作爲一種新型的寬禁帶半導體材料,功率密度和效率優勢明顯,在電動汽車、光伏等新能源領域的應用快速增長。華工激光自主研製的第三代半導體晶圓激光切割裝備已完成測試,目前開發的產品覆蓋化合物半導體前道和後道製程,包括碳化硅襯底外觀缺陷檢測,晶圓激光標刻裝備、晶圓激光退火裝備,晶圓激光表切裝備、晶圓激光隱切裝備,和碳化硅晶圓關鍵尺寸測量設備。

譯文內容由第三人軟體翻譯。


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