NTCysd 数据2022 年全球静电吸盘市场销售额为18.23 亿美元，预计2029 年将达到25.91 亿美元。从销量上看，2022 年全球静电吸盘销量为5.78 万件。投資要點
事件：近日，旭光電子的孫公司寧夏北瓷新材料科技有限公司收到科技部下發的國家重點研發計劃 課題任務書《氮化鋁陶瓷組分設計及大尺寸輔熱型靜電吸盤製造和應用》，公司有望助力半導體設備核心零部件——靜電吸盤的產業化進程。
靜電吸盤是極爲關鍵的半導體設備零部件，國產化需求迫切靜電吸盤，又稱靜電卡盤（ESC,E—Chuck），是一種利用靜電吸附原理加持固定被吸附物的夾具，適用於真空和等離子體環境，主要作用是用於吸附超潔淨薄片(如硅片)，並使吸附物保持較好的平坦度，可以抑制吸附物在工藝中的變形，並能夠調節吸附物的溫度。晶圓溫度分佈的均勻性是影響晶圓刻蝕速率和刻蝕均勻性的重要因素，靜電吸盤在控制晶圓溫度方面起着關鍵作用。在半導體晶圓製造過程中有多道工序，每一道工序都需要保證晶圓的平穩固定，靜電吸盤已經成爲應用最廣泛的晶圓夾持工具，是刻蝕設備、PVD 設備、PECVD 設備、離子注入設備等的核心部件。靜電吸盤的內部結構主要包括介電層、加熱層和基座。AlN和SiC 因爲具有較高的熱導率，都可以用於製作靜電吸盤的介電層。目前全球靜電吸盤市場主要被美日廠商壟斷，主要廠商包括美國Applied Materials、美國Lam Research、日本SHINKO、日本TOTO、日本NTK 等公司，由於靜電吸盤屬於消耗品，使用壽命一般不超過兩年，因此靜電吸盤具有較大的替換市場。
NTCysd 數據2022 年全球靜電吸盤市場銷售額爲18.23 億美元，預計2029 年將達到25.91 億美元。從銷量上看，2022 年全球靜電吸盤銷量爲5.78 萬件。
公司承接科技部靜電吸盤重要課題，助力靜電吸盤產業化推進靜電吸盤作爲核心的半導體設備零部件，對於我國半導體產業的全國產化有着極爲重要的意義。近日，旭光電子的孫公司寧夏北瓷新材料科技有限公司收到科技部下發的國家重點研發計劃 課題任務書《氮化鋁陶瓷組分設計及大尺寸輔熱型靜電吸盤製造和應用》，該課題要求“針對我國半導體行業對高精度靜電吸盤國產化的迫切需求，系統地開展12 英寸晶圓用大尺寸輔熱型氮化鋁靜電吸盤結構設計、陶瓷材料熱學和電學性能協同調控、輔熱型靜電吸盤製造技術、靜電吸盤性能測試表徵技術等多方面的研究……並且完成在半導體制程模擬裝置中的示範應用，建立中試生產線，爲國產化高性能氮化鋁靜電吸盤的產業化應用和發展奠定基礎。”公司承接的相關課題屬於半導體用高超精密晶舟及靜電吸盤研製與應用項目，該課題的實施有望助力靜電吸盤產業化推進。
盈利預測與估值
我們預計公司2023/2024/2025 年歸母淨利潤分別爲1.06/2.35/3.33 億元，對應PE分別爲67.88/30.60/21.60X。考慮到公司在氮化鋁行業競爭優勢獨特（具備粉體+器件的全流程能力），未來有望在靜電吸盤等領域持續打開成長空間，伴隨着募投項目的產能爬坡，氮化鋁的經營成果有望持續兌現。結合考慮到公司2024-2025 年因氮化鋁帶動的成長持續性較強，上調至“買入”評級。
風險提示
產能爬坡不及預期、產品研發、認證不及預期、需求不及預期、競爭加劇風險
