1、广义检测贯穿整个半导体制程,包括第三方实验检测、缺陷检测( Defect Inspection )与量测(Metrology) 、测试(Test)等,本篇是我们此前系列报告《检测设备系列之一:半导体缺陷检测——谁有机会成为中国的科磊?-20200224》的深化报告,重点聚焦在缺陷检测与量测部分,在本文中统称为检测设备。KLA-Tecnor为半导体制程中检测设备领域的绝对王者,本文深度分析半导体检测设备市场并借鉴KLA-Tencor的发展历程,梳理国内相关企业进展并给出投资建议。
2、市场规模&分类:1)芯片制程中检测设备种类多、市场空间大,根据我们测算,预计2020、2021年全球检测设备市场空间约为66.9、73.5亿美元、中国大陆该市场规模约为16.4、17.6亿美元。同时我们判断在检测设备中,缺陷检测与量测部分占比分别约为2/3、1/3,则相应2020年全球半导体缺陷检测、量测设备的市场规模约为44.6、22.3亿美元,2021年分别约为49、24.5亿美元;中国大陆2020年两者分别约为10.9、5.5亿美元;2021年分别约为11.7、5.9亿美元。2)制程检测设备有不同的分类方法可以分为:缺陷检测、物性量测;光学检测、电子束检测等;有图形检测、无图形检、光刻套刻测量等。
3、市场格局:1)根据SEMI数据,KLA-Tencor在前道全球检测和测量市场中占比过半、稳居行业第一,堪称半导体检测设备领域王者,且在所有半导体设备企业中排名第五;其次是应用材料和日立,二者市占率均超过10%,前三市占率合计达到75%,其他重要企业有Onto(Nanometrics和Rudolph合并而来)、Nova等。2)国内半导体检测设备领域,相关企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局,在部分细分领域已取得较大进展,但整体来看国产化率仍非常低(我们判断在5%以下),可以留给国内企业的市场空间和挑战并存。
投资建议:从目前国内主要企业中标情况来看,量测部分(如膜厚测量等设备)已有部分企业能够中标长存等,但缺陷检测部分中标非常少,重点推荐赛腾股份(Optima):Optima主要产品为缺陷检测设备,客户为韩国日本等大型晶圆、芯片制造企业,国内是其未来重点拓展领域,目前国内既有客户包括新晟、中环、奕斯伟等,未来有望通过扩充产品线、国产化进程加快等方式进入更多客户。
风险提示:疫情超预期;公司相关产品订单不及预期;中美贸易摩擦超预期等。
1、廣義檢測貫穿整個半導體制程,包括第三方實驗檢測、缺陷檢測( Defect Inspection )與量測(Metrology) 、測試(Test)等,本篇是我們此前系列報告《檢測設備系列之一:半導體缺陷檢測——誰有機會成爲中國的科磊?-20200224》的深化報告,重點聚焦在缺陷檢測與量測部分,在本文中統稱爲檢測設備。KLA-Tecnor爲半導體制程中檢測設備領域的絕對王者,本文深度分析半導體檢測設備市場並借鑑KLA-Tencor的發展歷程,梳理國內相關企業進展並給出投資建議。
2、市場規模&分類:1)芯片製程中檢測設備種類多、市場空間大,根據我們測算,預計2020、2021年全球檢測設備市場空間約爲66.9、73.5億美元、中國大陸該市場規模約爲16.4、17.6億美元。同時我們判斷在檢測設備中,缺陷檢測與量測部分佔比分別約爲2/3、1/3,則相應2020年全球半導體缺陷檢測、量測設備的市場規模約爲44.6、22.3億美元,2021年分別約爲49、24.5億美元;中國大陸2020年兩者分別約爲10.9、5.5億美元;2021年分別約爲11.7、5.9億美元。2)製程檢測設備有不同的分類方法可以分爲:缺陷檢測、物性量測;光學檢測、電子束檢測等;有圖形檢測、無圖形檢、光刻套刻測量等。
3、市場格局:1)根據SEMI數據,KLA-Tencor在前道全球檢測和測量市場中佔比過半、穩居行業第一,堪稱半導體檢測設備領域王者,且在所有半導體設備企業中排名第五;其次是應用材料和日立,二者市佔率均超過10%,前三市佔率合計達到75%,其他重要企業有Onto(Nanometrics和Rudolph合併而來)、Nova等。2)國內半導體檢測設備領域,相關企業目前實行自主研發與併購並舉的方式進行佈局,在部分細分領域已取得較大進展,但整體來看國產化率仍非常低(我們判斷在5%以下),可以留給國內企業的市場空間和挑戰並存。
投資建議:從目前國內主要企業中標情況來看,量測部分(如膜厚測量等設備)已有部分企業能夠中標長存等,但缺陷檢測部分中標非常少,重點推薦賽騰股份(Optima):Optima主要產品爲缺陷檢測設備,客戶爲韓國日本等大型晶圓、芯片製造企業,國內是其未來重點拓展領域,目前國內既有客戶包括新晟、中環、奕斯偉等,未來有望通過擴充產品線、國產化進程加快等方式進入更多客戶。
風險提示:疫情超預期;公司相關產品訂單不及預期;中美貿易摩擦超預期等。