公司已在合肥建有国内首条完整部件清洗阳极产线，至2022 年末，已通过近十位客户验证并形成订单。2022 年初公司国内首座完全国产化的12 英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂建成，实现了国内自主建设大宗气站零的突破。2022 年營收業績高增，維持“買入”評級
2023 年4 月7 日，公司發佈2022 年年報，2022 年實現營收30.50 億元，同比+46.32%；歸母淨利潤2.82 億元，同比+0.24%；扣非淨利潤2.85 億元，同比+76.03%；毛利率35.36%，同比-0.83pcts。計算得2022Q4 單季度實現營收11.24億元，同比+40.23%，環比+39.53%；歸母淨利潤1.20 億元，同比+27.96%，環比+47.29%；扣非淨利潤1.00 億元，同比+22.27%，環比+12.93%。考慮半導體週期下行影響，我們下調2023-2024 年業績預測並新增2025 年業績預測，預計2023-2025 年歸母淨利潤爲4.80（-0.18）/6.18（-0.34）/7.38 億元，對應EPS 爲1.49（-0.07）/1.92（-0.12）/2.29 元，當前股價對應PE 爲29.3/22.8/19.1 倍，我們看好公司在半導體領域的不斷拓展，維持“買入”評級。
訂單再創新高，新業務品類拓展，公司成長動力充足2022 年公司新增訂單42.19 億元，同比+30.62%，其中半導體制程設備18 億元，同比+60.71%。公司預計2023 年新增訂單52-57 億元，中值54.5 億元，同比+29.18%，製程設備訂單20-25 億元，中值22.5 億元，同比+25%。業務上：溼法清洗設備方面，目前公司溼法設備已能滿足28nm 全部溼法工藝需求，且全工藝機臺均有訂單。截至2022 年底核心工序段的高階設備累計訂單量近20 臺，14nm 及以下製程有4 臺訂單交付，2022 年下半年首臺單晶槽式制絨清洗設備下線，目前近60 臺製絨設備訂單在陸續交付中。爐管設備方面，8 英寸爐管設備已有數臺訂單，12 英寸爐管設備即將進入客戶驗證階段。塗膠顯影設備方面，8英寸塗膠顯影設備已交付客戶驗證，12 英寸塗膠顯影設備在技術評估階段。系統集成業務目前80%服務於半導體領域，公司已成爲國內最大的高純工藝系統支持設備供應商，目前支持設備業務量接近系統集成業務總量的40%。服務上：
公司已在合肥建有國內首條完整部件清洗陽極產線，至2022 年末，已通過近十位客戶驗證並形成訂單。2022 年初公司國內首座完全國產化的12 英寸晶圓先進製程大宗氣體供應工廠建成，實現了國內自主建設大宗氣站零的突破。
風險提示：原材料價格上漲風險、客戶驗證不及預期、下游需求不及預期。