投资要点：
公告：2022 年度非公开发行A 股股票预案，拟募资不超过18 亿元，其中12.6 亿元用于3 个主营项目，占比70%；5.4 亿元用于补充流动资金或偿还银行贷款。单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目和江苏启东半导体装备产业化基地二期项目预计收入分别为7.2 亿/4.8 亿/12.1 亿元，合计销售额24.1 亿元。
半导体湿法制程设备新增订单快速增长，湿法设备订单中高阶设备占比6 成，积累行业优质客户。2019-2021 年及2022 前三季，新增订单分别为14.2/19.6/32.3/36.2 亿元；湿法设备板块，公司2015 年起研发，2019-2021 年湿法设备新增订单分别为1.7/5.3/11.2亿元，积累了中芯国际、合肥长鑫、上海华虹等集成电路领域的一线客户群。2021 年，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，在14nm以下制程也拿到4 台湿法设备订单。
目前湿法制程设备产能扩至150 台，“单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目”
和“至纯北方半导体研发项目”强化湿法设备及零部件先进制程能力及产能。单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目针对14nm及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模块、单片式腔体及耐腐蚀性、高精密度的核心零部件进行研发及产业化。该项目将成为公司高阶制程单片湿法装备及零部件研发与产业化基地，形成高阶制程单片湿法模块年产100 套，各类零部件年产近2000 套。至纯北方半导体研发生产中心项目预计将实现年产系统集成及支持设备30 套、半导体湿法设备15 台、半导体零部件2,610 套的生产能力。
“启东半导体装备产业化基地二期项目”研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备，布局新品类及新应用领域。项目投资额8 亿，将形成年产炉管、涂胶显影等集成电路设备50 套，光伏工艺设备120 套，面板制程设备10套，系统集成及工艺设备逾3 千套，配套零部件逾3 万套的生产规模，预计可实现年收入12.1 亿元。公司在炉管、涂胶显影等半导体设备产品及技术研发的过程中，实现了在传送系统、电控系统、射频系统、腔体结构及尾气处理系统等核心工艺的积累和掌握。
立足高纯工艺系统布局半导体湿法工艺设备及晶圆再生，半导体业务战略三位一体。2021年以来合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡，合肥布局晶圆再生及部件清洗项目是国内首条投产的12 英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线，年产168万片晶圆再生和120 万件半导体零部件再生产能。已形成设备、材料、工艺三位一体。
上调盈利预测，维持“买入”评级。公司预计2022 年扣非后净利润位于3-3.3 亿元，由于公司在光伏等新领域取得新突破，将2022/23/24 年归母净利润预测从3.30/4.52/5.38亿元上调至3.30/5.01/6.45 亿元，2023PE 27X，维持买入评级。
风险提示：清洗设备订单不及预期；新产能不及预期；投资失败或亏损风险。
投資要點：
公告：2022 年度非公開發行A 股股票預案，擬募資不超過18 億元，其中12.6 億元用於3 個主營項目，佔比70%；5.4 億元用於補充流動資金或償還銀行貸款。單片溼法工藝模塊、核心零部件研發及產業化項目、至純北方半導體研發生產中心項目和江蘇啓東半導體裝備產業化基地二期項目預計收入分別爲7.2 億/4.8 億/12.1 億元，合計銷售額24.1 億元。
半導體溼法制程設備新增訂單快速增長，溼法設備訂單中高階設備佔比6 成，積累行業優質客戶。2019-2021 年及2022 前三季，新增訂單分別爲14.2/19.6/32.3/36.2 億元；溼法設備板塊，公司2015 年起研發，2019-2021 年溼法設備新增訂單分別爲1.7/5.3/11.2億元，積累了中芯國際、合肥長鑫、上海華虹等集成電路領域的一線客戶羣。2021 年，首批次單片溼法設備已交付並順利通過驗證，在14nm以下製程也拿到4 臺溼法設備訂單。
目前溼法制程設備產能擴至150 臺，“單片溼法工藝模塊、核心零部件研發及產業化項目”
和“至純北方半導體研發項目”強化溼法設備及零部件先進製程能力及產能。單片溼法工藝模塊、核心零部件研發及產業化項目針對14nm及以下工藝節點的高階單片溼法工藝模塊、單片式腔體及耐腐蝕性、高精密度的核心零部件進行研發及產業化。該項目將成爲公司高階製程單片溼法裝備及零部件研發與產業化基地，形成高階製程單片溼法模塊年產100 套，各類零部件年產近2000 套。至純北方半導體研發生產中心項目預計將實現年產系統集成及支持設備30 套、半導體溼法設備15 臺、半導體零部件2,610 套的生產能力。
“啓東半導體裝備產業化基地二期項目”研發並量產爐管與塗膠顯影等集成電路設備、光伏制絨清洗設備等泛半導體工藝設備，佈局新品類及新應用領域。項目投資額8 億，將形成年產爐管、塗膠顯影等集成電路設備50 套，光伏工藝設備120 套，面板製程設備10套，系統集成及工藝設備逾3 千套，配套零部件逾3 萬套的生產規模，預計可實現年收入12.1 億元。公司在爐管、塗膠顯影等半導體設備產品及技術研發的過程中，實現了在傳送系統、電控系統、射頻系統、腔體結構及尾氣處理系統等核心工藝的積累和掌握。
立足高純工藝系統佈局半導體溼法工藝設備及晶圓再生，半導體業務戰略三位一體。2021年以來合肥晶圓再生項目已正式量產爬坡，合肥佈局晶圓再生及部件清洗項目是國內首條投產的12 英寸晶圓再生產線，部件清洗項目爲國內首條設立完整的陽極產線，年產168萬片晶圓再生和120 萬件半導體零部件再生產能。已形成設備、材料、工藝三位一體。
上調盈利預測，維持“買入”評級。公司預計2022 年扣非後淨利潤位於3-3.3 億元，由於公司在光伏等新領域取得新突破，將2022/23/24 年歸母淨利潤預測從3.30/4.52/5.38億元上調至3.30/5.01/6.45 億元，2023PE 27X，維持買入評級。
風險提示：清洗設備訂單不及預期；新產能不及預期；投資失敗或虧損風險。
