东吴证券研报指出，华海清科(688120.SH)收购子公司芯嵛公司剩余82%股权，离子注入机构筑公司第二增长极。基于公司较高的成长性，维持“买入”评级。交易基于2024-2026子公司业绩分三期完成，对赌补偿机制降低收购风险：华海清科秉持“装备+服务”的平台化发展策略，通过此次收购成功切入离子注入机领域。此次交易将基于收购标的2024-2026年业绩、营收结构和交付机台数量等考核标准，分三期完成。公司主打产品CMP 装备、减薄装备均是芯片堆叠技术、先进封装技术的关键核心装备，将获得更加广泛的应用。