晶瑞電材在互動平台表示，公司共有5臺光刻機，分別用於紫外寬譜、g線、i線、KrF和ArF產品的研發以及量產，ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中，部分樣品已開展客戶送樣驗證工作。
晶瑞电材：ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中
晶瑞電材：ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中
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晶瑞電材在互動平台表示，公司共有5臺光刻機，分別用於紫外寬譜、g線、i線、KrF和ArF產品的研發以及量產，ArF高端光刻膠研發工作在有序開展中，部分樣品已開展客戶送樣驗證工作。
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