据TrendForce集邦咨询，台积电2nm工艺将在2025年量产，设备制造商正在紧锣密鼓的交付中。台积电今年和明年将接收超过60台，耗资约4000亿新台币（折合人民币约895亿元）。在台积电等龙头的需求驱动下，ASML光刻机出货量2025年将增长30%。其中今年交付53台、明年交付72台。