華海清科公告，公司和清華大學共同完成的“集成電路化學機械拋光關鍵技術與裝備”項目榮獲2023年度國家技術發明獎一等獎。公司董事長、首席科學家路新春作爲項目第一完成人獲得一等獎證書。該項目實現了國內市場CMP裝備領域的國產替代，國內市場佔有率達到較高水平。本次獲獎對公司近期業績暫無重大影響。
华海清科：“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获国家技术发明奖一等奖
華海清科：“集成電路化學機械拋光關鍵技術與裝備”項目榮獲國家技術發明獎一等獎
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