據韓國業界消息，韓國半導體巨頭三星電子、SK海力士正利用氖氣回收技術，以實現可持續發展，並降低成本、減輕供應風險。SK海力士近日宣佈與韓國氣體供應商TEMC合作，在氖氣回收方面取得突破。三星電子也緊隨其後，計劃在2025年將氖氣回收技術整合到其製造工藝當中。氖氣用於半導體光刻中激發激光，通過利用裝置收集廢氣，SK海力士與TEMC實現了72.7%的氖氣回收率，並計劃將效率進一步提升至77%。
韩国半导体大厂相继开启氖气回收计划 回收率超70%
韓國半導體大廠相繼開啓氖氣回收計劃 回收率超70%
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